基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，包括激光器、位于激光器出射光束光路上的扩束镜和被测物体；还包括位于从被测物体表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束相干线偏振光的剪切器、设置从剪切器出射的光束的光路上的微偏振片阵列、与微偏振片阵列相连的感光元件和与感光元件相连的用于对感光元件采集的信号进行传输和处理的处理设备。优点：一次曝光即可获得多次相移，可达到实时检测的效果；光路中简化了产生相移的装置；由于产生相移的微偏振片阵列直接集成到感光元件上，抗振要求降低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子剪切散斑干涉仪，尤其是一种涉及无损、非接触式检测
的可实时获得四幅相移图像的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪。
技术介绍
微偏振片阵列是一种用于测量光线经过不同透过方向的偏振片后各个偏振方向的光强的器件，通常与图像传感器(例如数码相机)搭配使用从而获得包含由该微偏振片阵列测得的各偏振分量的图像，并可以进行实时相移分析。目前微偏振片阵列制备方法主要有基于聚乙烯醇薄膜刻蚀、基于光控取向的液晶材料以及基于金属纳米光栅几种。随着产品质量和可靠性指标的不断提升，需要采用无损检测方法来研究和检测材料存在的缺陷。由于具备全场、非接触和无污染等诸多优点，诸如热成像、全息成像术、电子散斑干涉术(ESPI)和电子剪切散斑干涉术(ESSPI)等光学检测技术在无损检测领域得到了广泛的应用。ESSPI是一种基于计算机数据处理、相移技术和干涉术的激光测量技术，与其他干涉技术采用两束相同的光束产生干涉条纹的原理不同，ESSPI采用剪切器将物体表面两个点的光波反射到成像平面上的同一点以产生散斑干涉像而无需采用另外的参考光束，因此是一种自参考干涉系统。在数字电子剪切散斑干涉术中先本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，包括激光器(1)、位于激光器(1)出射光束光路上的扩束镜(2)和被测物体(3)；其特征在于：还包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束相干线偏振光的剪切器、设置从剪切器出射的光束的光路上的微偏振片阵列(10)、与微偏振片阵列(10)相连的感光元件(11)和与感光元件(11)相连的用于对感光元件(11)采集的信号进行传输和处理的处理设备(12)。

【技术特征摘要】
1.基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，包括激光器(1)、位于激光器(1)出射光束光路上的扩束镜(2)和被测物体(3);其特征在于还包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束相干线偏振光的剪切器、设置从剪切器出射的光束的光路上的微偏振片阵列(10)、与微偏振片阵列(10)相连的感光兀件(11)和与感光元件(11)相连的用于对感光元件(11)采集的信号进行传输和处理的处理设备(12)。2.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于所述剪切器包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上的透镜(13)、位于从透镜(13)透射出的光束的光路上的偏振分光棱镜(4)、位于偏振分光棱镜(4)透射出的光束光路上的第一四分之一波片(5)、位于第一四分之一波片(5)透射出光束的光路上的第一反射机构(6)、位于偏振分光棱镜(4)反射出的光束的光路上的第二四分之一波片(7)、位于第二四分之一波片(X)透射出光束的光路上的第二反射机构(8)和位于偏振分光棱镜(4)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志刚，张青川，符师桦，程腾，张勇，
申请(专利权)人：南京中迅微传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：