下载基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪的技术资料

文档序号:8592772

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本发明公开了基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪,包括激光器、位于激光器出射光束光路上的扩束镜和被测物体;还包括位于从被测物体表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束相干线偏振光的剪切器、设置从剪切器出射的光束的光路上的微...
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