脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明专利技术通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学测量
，涉及的是一种，特别是配合马赫泽德干涉系统来对横流风机叶轮造成的微小扰动的测量装置及其测量方法，该方法特别适用于对脉冲气体激光器腔内横流风机叶轮的微小扰动的测量。
技术介绍
采用脉冲放电泵浦的脉冲气体激光器如CO2气体激光器和准分子激光器等在工业加工、集成电路光刻和激光医疗和等领域获得了广泛的应用。脉冲气体激光器中主放电区域工作介质的均匀性对放电均匀性及远场光束质量有重要影响，因此需要循环系统来使放电区的工作介质不断更新，从而保证工作介质的均匀性。气体的循环流动由风机来驱动，风机种类主要有横流风机、轴流风机和离心风机。伴随着对重复频率指标的要求增高，对循环系统中风机的转速要求也在不断提高，而在高流速条件下，轴流风机和离心风机的成本较高，而横流风机不仅能在高气压下获得较高的流速，且横流风机纵横与放电电极结构接近，使整个激光器结构紧凑。如图1所示为脉冲气体激光器的气体循环流动系统剖面图，主要包括主放电电极101，预电离电极102，换热器103，横流风机104及其叶轮105。脉冲气体激光器中的气体循环流动主要由横流风机104来完成，横流风机104转动后由于转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置，其特征在于，它包括探测激光光源、扩束系统、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜和第二反射镜共同构成马赫泽德干涉系统，第一反射镜及第二分光镜分别用于放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上，数据采集器与光电探测器电连接，处理器与数据采集器电连接。

【技术特征摘要】
1.一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置，其特征在于，它包括探测激光光源、扩束系统、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光电探测器、数据米集器和处理器；第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜和第二反射镜共同构成马赫泽德干涉系统，第一反射镜及第二分光镜分别用于放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上，数据采集器与光电探测器电连接，处理器与数据采集器电连接。2.根据权利要求1所述脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置，其特征在于， 所述光电探测器的光敏面大小为Imm2 3_2。3.根据权利要求1所述脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置，其特征在于， 探测激光光源是倍频...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐勇跃，杨晨光，唐建，左都罗，王新兵，卢宏，陆培祥，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：