【技术实现步骤摘要】
基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置
本专利技术属于光学测量
，涉及的是测量流场波动的装置，特别是一种基于四象限光电探测器来测量流场中的激波传播特性的装置，利用四象限光电探测器的各象限输出变化实现激波的传播方向及其扰动大小的测量。该方法尤其适用于脉冲气体激光器内气体流场扰动的测量。
技术介绍
采用脉冲放电泵浦的脉冲气体激光器具有重复率高、能量大及成本低的特点在工业上获得了广泛的应用，如集成电路光刻，激光医疗和工业加工等。脉冲气体激光器工作过程中，由于在有限空间内瞬间注入能量较大，从而会产生各个不同方向发展的激波，这些激波会在激光腔内来回往复运动，传播过程中会带来密度的变化，使腔内激励介质的均匀性变化，因此激波的扰动大小表征了流场的均匀性。由于激光腔内流场的不均匀性会直接影响放电均匀性，进而影响激光输出的光束质量和输出功率的稳定性，因此对激波特性参数 (包括激波的大小和传播方向)的测量显得尤为重要。传统的流场波动的测量方法经常会采用压力探针法(O. Uteza, Ph. Delaporte, B.Fontaine，B. Forestier, M. ...
【技术保护点】
一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，其特征在于：探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；所述探测光接收系统包括四象限光电探测器，其中四象限光电探测器的光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测光源发出的探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐勇跃，杨晨光，左都罗，朱海红，王新兵，卢宏，陆培祥，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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