玻璃基板水基清洗液及使用该清洗液清洗玻璃基板的方法技术

本发明专利技术涉及一种玻璃基板水基清洗液，包括以下组分（重量百分比）：无机碱性物质1~5%、阴离子表面活性剂5~15%、非离子表面活性剂5~10%、消泡剂0.1~1%，其余为水。本发明专利技术还提供一种使用该清洗液清洗玻璃基板的方法。本发明专利技术的清洗液可以有效去除玻璃基板表面的指纹、灰尘、玻璃粉、油脂及其他有机无机固体粒子，而且不含不含NP和OP类表面活性剂，有效保护环境。同时，本发明专利技术清洗玻璃基板的方法使用简单，清洗液用量少，而且清洗效果好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及清洁材料
，尤其指一种玻璃基板镀氧化铟锡膜(ΙΤ0)前的水基清洗液，特别涉及一种。
技术介绍
在平板显示领域中，包括液晶显示(IXD)、触摸屏(TP)、有机电致发光(OLED)及等离子体(PDP)显示用玻璃基板的制备工艺过程中包括在玻璃基片上依次进行设置金属或金属氧化物层的金属配线形成工序；设置光致抗蚀剂层的工序；在光致抗蚀剂上转印掩模图形的曝光工序；按照图形对模进行蚀刻的蚀刻工序；以及除去光致抗蚀剂的剥离工序坐寸ο一般的玻璃基板在镀膜前会存在指纹、灰尘、玻璃粉、油脂及其他有机无机固体粒子附着于玻璃表面，这些杂质会影响玻璃基板的镀膜质量，所以需要高效的清洗液出去这些杂质。现有的玻璃基板清洗液有水基清洗液和溶剂清洗液两种。现有的水基清洗液对油污除去效果欠佳，效率不高，一些含壬基酚类(NP)或辛基酚类(OP)表面活性剂的水基清洗液虽然除油污效果表现较好，但NP和OP类表面活性剂难以生物降解，长期大量使用对环境会造成难以预计的破坏。溶剂类清洗液则存在着对溶剂回收处理等问题，回收成本较高。
技术实现思路
本专利技术的主要目 的在于，提供一种，该清洗液不但有优异的清洗能力，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板水基清洗液，其特征在于，包括以下组分（重量百分比）：无机碱性物质1~5%、阴离子表面活性剂5~15%、非离子表面活性剂5~10%、消泡剂0.1~1%，其余为水。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板水基清洗液，其特征在于，包括以下组分(重量百分比)无机碱性物质1飞％、阴离子表面活性剂5 15%、非离子表面活性剂5 10%、消泡剂O. f 1%，其余为水。2.如权利要求1所述的玻璃基板水基清洗液，其特征在于，所述无机碱性物质为氢氧化钾或氢氧化钠。3.如权利要求1所述的玻璃基板水基清洗液，其特征在于，所述阴离子表面活性剂为乙二胺二邻苯基乙酸钠。4.如权利要求1所述的玻璃基板水基清洗液，其特征在于，所述非离子表面活性剂为异构十三醇聚氧乙烯醚，分子式为C13H27O (C2H4O)nH，其中η为5 8。5.如权利要求4所述的玻璃基板水基清洗液，其特征在于，所述异构十三醇聚氧乙烯醚的分子式为 C13H27O (C2H4O) 5Η 或 C13H27O (C2H4O) 6Η。6.如权利要求1所述的玻璃基板水基清洗液，其特征在于，所述消泡剂为高碳醇，分子式中C原子数为7 9。7.如权利要求6所述的玻璃基板水基...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘小勇，
申请(专利权)人：深圳市佑达环保材料有限公司，
类型：发明
国别省市：