微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法技术

本发明专利技术提供一种微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法，包括以下步骤：在衬底上设置隔离槽掩蔽层；制作隔离槽；设置介质支撑膜和释放阻挡带；在上述介质支撑膜上设置第一热偶条和加热电阻条；在上述第一热偶条和加热电阻条上方设置释放保护膜；设置电绝缘热导通结构；形成金属电极及金属连接线，形成第二热偶条；在上述已形成金属电极及金属连接线和第二热偶条的基底上设置腐蚀释放通道；利用腐蚀释放通道腐蚀衬底，得到用释放阻挡带封闭起来的热隔离腔体。本发明专利技术用于微纳尺度材料赛贝克系数测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微纳尺度材料性能测量机构的制备方法，尤其是一种。
技术介绍
基于温差电效应(赛贝克效应)的MEMS红外探测器——MEMS热电堆红外探测器是传感探测领域的一种典型器件，可用于组成温度传感器、气敏传感器、人体感测系统、防盗报警装置等。热电堆红外探测器与基于其它工作原理的红外探测器(如热释电型红外探测器和热敏电阻型红外探测器等)相比具有可测恒定辐射量、无需加偏置电压、无需斩波器、更适用于移动应用与野外应用等明显的综合优点。因而，MEMS热电堆红外探测器对于实现更为宽广的红外探测应用具有非常重要的意义，其民用、军用前景广阔，商业价值和市场潜力非常巨大。热电转换材料是热电堆探测器的敏感元件，也是该探测器最为关键的构件；赛贝克系数是表征热电转换材料热电性能的参数，直接决定着热电堆探测器的性能，因此也是该探测器最为核心的一项参数。从这个角度讲，如何准确测量材料的赛贝克系数具有重要的现实意义。赛贝克系数是指在一定温度梯度条件下材料两端所产生的开路电压与材料两端的温度差之比。仅从理论上讲，赛贝克系数是一个很容易测量的参量。然而，实际的测量过程中不可避免地会出现测量误差，有时候误差会本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)步骤，提供衬底(101)，并在所述衬底(101)上设置隔离槽掩蔽层(102)；(b)步骤，在上述设置了隔离槽掩蔽层(102)的衬底(101)上制作隔离槽(202)；(c)步骤，在上述制作了隔离槽(202)的衬底101上设置介质支撑膜(301)和释放阻挡带(302)；(d)步骤，在上述介质支撑膜(301)上设置第一热偶条(8)和加热电阻条(401)；其中加热电阻条(401)包括第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)，第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)掺杂浓度和/或尺寸参数不同，使得第一加热电阻条(1...

【技术特征摘要】
1.一种微纳尺度材料赛贝克系数測量机构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤 (a)步骤，提供衬底(101)，并在所述衬底(101)上设置隔离槽掩蔽层(102)； (b)步骤，在上述设置了隔离槽掩蔽层(102)的衬底(101)上制作隔离槽(202)； (c)步骤，在上述制作了隔离槽(202)的衬底101上设置介质支撑膜(301)和释放阻挡带(302)； (d)步骤，在上述介质支撑膜(301)上设置第一热偶条(8)和加热电阻条(401);其中加热电阻条(401)包括第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)，第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)掺杂浓度和/或尺寸參数不同，使得第一加热电阻条(10)的电阻值小于第二加热电阻条(11)的电阻值； (e)步骤，在上述第一热偶条(8)和加热电阻条(401)上方设置释放保护膜(501);所述释放保护膜(501)同时作为金属和第一热偶条(8)之间的电绝缘材料，以及金属和加热电阻条(401)之间的电绝缘材料，其覆盖的区域包括除金属电极与加热电阻条交叠位置(503)、金属与第一热偶条连接位置(502)以及金属与加热电阻条连接位置(504)外的基底上表面所有区域； (f)步骤，在上述金属电极与加热电阻条交叠位置(503)处设置电绝缘热导通结构(601)； (g)步骤，在上述已制作电绝缘热导通结构(601)的基底上溅射金属层，形成金属电极及金属连接线(701)，形成第二热偶条(9);金属电极及金属连接线(701)包括各金属电极和金属电极上的突出部，其中，金属电极包括第一金属电极(I)、第二金属电极(2)、第三金属电极(3)、第四金属电极(4)、第五金属电极(5)、第六金属电极(6)和第七金属电极(7)； (h)步骤，在上述已形成金属电极及金属连接线(701)和第二热偶条(9)的基底上设置腐蚀释放...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛海央，欧文，欧毅，陈大鹏，
申请(专利权)人：江苏物联网研究发展中心，
类型：发明
国别省市：