非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置制造方法及图纸

非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置涉及生成物处理技术领域，该装置包括：双侧进气管、排气管、进液管、排液管、匀气管、密封盖和储液槽；密封盖和储液槽形成封闭的环境；双侧进气管的尾端分成两部分，匀气管位于储液槽内，匀气管的两端与双侧进气管的两部分连接；匀气管上分布许多小孔；排气管、进液管和排液管分别与封闭的环境相连。本发明专利技术与生成物作用时间长，净化效率高，生成物处理彻底，设备体积小、重量轻，易于操作，方便维护的优点。相应于不同生成物的量可以方便的改变叠加层数，满足生成物净化要求，且该设计便于加工与装配，具有更高的实用性。本发明专利技术在狭小空间应用时，可以有效处理放电生成物，净化工作环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器放电生成物处理
，具体涉及一种非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置。
技术介绍
基于化学反应的非链式氟化氣/氟化氢(DF/HF)激光器输出波段为2. 6^4. 2 μ m,处于大气传输窗口，覆盖了众多原子及分子的吸收峰，因此在光谱学、激光雷达、大气监测及军事等诸多领域都有重要的应用价值和前景。鉴于非链式DF激光器和HF激光器的工作气体及其放电生成物理化性质像似，在此仅以非链式DF激光器为例进行说明。非链式DF激光器的工作气体通常由SF6和D2按一定比例混合配制而成。在高压放电情况下，工作气体发生复杂的化学反应，生成对环境有害的DF、SF4气体。若将含有这些成分的非链式DF激光器放电生成物直接排入空气中，长期、过量摄入该气体的工作人员会诱发呼吸道疾病、氟骨病等。因此，放电生成物的处理是该类激光器研究和使用中必须考虑的一项专门技术，得到业内专家的广泛关注。如专利公开号为“CN 1593723A”的“全氟化物处理方法”，该方法主要采用了高温等离子反应器将全氟化物做裂解处理，进而将裂解后的气体经燃烧室燃烧除去H2，最后通入洗涤 塔将剩余废气处理干净。该方本文档来自技高网...

【技术保护点】
非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置，其特征在于，该装置包括：双侧进气管、排气管、进液管、排液管、匀气管、密封盖和储液槽；所述双侧进气管的尾端分成两部分，所述密封盖和储液槽形成封闭的环境；所述匀气管位于储液槽内，匀气管的两端与双侧进气管的两部分连接；匀气管上分布许多小孔；所述排气管、进液管和排液管分别与封闭的环境相连。

【技术特征摘要】
1.非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置，其特征在于，该装置包括双侧进气管、排气管、进液管、排液管、匀气管、密封盖和储液槽；所述双侧进气管的尾端分成两部分，所述密封盖和储液槽形成封闭的环境；所述匀气管位于储液槽内，匀气管的两端与双侧进气管的两部分连接；匀气管上分布许多小孔；所述排气管、进液管和排液管分别与封闭的环境相连。2.如权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置，其特征在于，所述双侧进气管、排气管、进液管和排液管的端口都有一个密封阀。3.如权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化处理装置，其特征在于，还装置还包括连接杆和螺栓；所述密封盖和储液槽形成封闭...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭劲，张来明，谢冀江，潘其坤，阮鹏，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：