【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是根据X射线衍射原理,用X射线测定蓝宝石晶棒材料的集合表面与内部晶面间的角度,保证晶棒粘结精度的光机电一体化的精密测量仪器。
技术介绍
测定晶棒几何表面与其内部晶面角,并按测定角度值将晶棒粘结在料板上,是进行下一步晶棒念料精度的高低,直接影响晶体切片质量好坏和经济效益。现行的晶棒测角和粘料君采用如下方式在普通精度的X射线定想仪上以晶棒的面为测试面,测定其角度值,再将该测定值一一标记在晶棒表面上,再通过机械校角仪将晶棒粘结在料板上。该晶棒粘料操作方法之所以选用普通精度的X射线定向仪,而非高精度X射线定向仪,其原因在于晶棒面的X射线反射能力非常弱,具有单色器的高精度X射线定向仪根本无法实现其测量任务。根据X射线晶体学原理,普通精度的X射线定向仪的应用决定了其测角精度只能在±45 - ±1'之间,利用精度仅为±15的机械校角仪实现晶棒校角及粘料工作,更难以保证晶棒粘结的精度。所以晶棒粘结精度通常也只能达到±1,左右,严重影响了切片精度,导致晶体切片制品的不合格品比例很大,而合格的晶体切片产品中,高精度切片更是凤毛麟角,造成人力、物力的大量浪费。
技术实现思路
为了突破晶体切片质量的瓶颈,改变目如晶棒粘料精度低的现状,提闻晶棒粘结精度,本技术提供一种高精度蓝宝石卧式粘料定向仪。采用技术方案是高精度蓝宝石卧式粘料定向仪,包括X射线管、测晶平台、计数器、放大器、数显器、测量光路及粘料机构,其特征在于所述的测量光路为由X射线管发出的X射线经单色器、被测晶棒至计数器构成,所述的粘料机构包括平台上的托板、滑板,托板上固定没有横跨滑板之上的横粱,横梁上设有晶棒C面的定位 ...
【技术保护点】
高精度蓝宝石卧式粘料定向仪,包括X射线管(1)、测晶平台(7)、计数器(4)、数显器(5)、测量光路及粘料机构,其特征在于所述的测量光路为由X射线管(1)发出的X射线经单色器(2)、被测晶棒(3)至计数器(4)构成,所述的粘料机构包括平台上的托板(9)、滑板(10),托板(9)上固定有横跨滑板(10)之上的横粱(11),横梁(11)上设有晶棒C面的定位顶针(6)和微调晶棒角的微调器(12)。
【技术特征摘要】
1.高精度蓝宝石卧式粘料定向仪,包括X射线管(I)、测晶平台(7)、计数器(4)、数显器(5)、测量光路及粘料机构,其特征在于所述的测量光路为由X射线管(I)发出的X射线经单色器(2)、被测晶棒(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:甄伟,赵松彬,高宇辉,
申请(专利权)人:丹东新东方晶体仪器有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。