【技术实现步骤摘要】
本技术属于激光器
,具体涉及一种激光系统的参数测量装置,特别是激光器发散角及光斑形状测量装置,其特别适用于准分子激光器。
技术介绍
在激光器的研发及使用过程中,都需要对激光器的各种参数(输出能量、输出能量稳定性、中心波长、脉宽、线宽、发散角、光斑质量等)进行测量,从而确定激光器的工作状态及性能。传统的测量方法一般都是一次只针对一个参数进行测量,不能同时测出激光器在某一时刻几个参数的数值及相互关系。并且对于有些参数(如发散角),其测量光路距离较长、较为复杂,增加了测量难度及测量误差,同时也造成了时间的浪费。针对传统的测量方法,本技术提出将所有的参数测量光路集成于一个装置中,合理优化各个参数测量的光路,使测量模块更紧凑,测量数据更准确。利用该参数测量装置,可以同时测量激光器的任意参数,并且所测数据具有较高的准确性、实时性,同时可大量节约测试时间。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题传统的测量方法不能同时测出激光器在某一时刻几个参数的数值及相互关系,并且对于有些参数(如发散角),其测量光路距离较长、较为复杂,增加了测量难度及测量误差,同时也造成了时间的浪费。( 二 )技术方案为解决传统测量方法存在的上述技术问题,本技术提出的技术方案中使用多个45°全反镜在二维方向上展开光路,缩短测量装置中光路两端间的直线距离,使测量装置更紧凑,测量数据更准确,并且通过使用多个45°全反镜可以同时测量激光器的任意参数,具有实时性,同时可大量节约测试时间。一种激光器发散角及光斑形状测量装置,包括激光器1、第一衰减片2、聚焦透镜3、第二衰减片9和光束质量分析仪4,其特征在于,该装 ...
【技术保护点】
一种激光器发散角及光斑形状测量装置,包括:激光器(1)、第一衰减片(2)、聚焦透镜(3)、第二衰减片(9)和光束质量分析仪(4),其特征在于,该装置还包括6个45°全反镜(5),通过使用所述6个45°全反镜(5)将光路在二维方向上展开,使得激光经过聚焦透镜(3)到达光束质量分析仪(4)的传播距离为聚焦透镜(3)的焦距长度。
【技术特征摘要】
1.一种激光器发散角及光斑形状测量装置,包括激光器(I)、第一衰减片(2)、聚焦透镜(3)、第二衰减片(9)和光束质量分析仪(4),其特征在于,该装置还包括6个45°全反镜(5),通过使用所述6个45°全反镜(5)将光路在二维方向上展开,使得激光经过聚焦透镜(3)到达光束质量分析仪(4)的传播距离为聚焦透镜(3)的焦距长度。2.如权利要求1所述的激光器发散角及光斑形状测量装置,其特征还在于,所述6个45°全反镜(5)中,第一个45°全反镜设置在激光器(I)与第一衰减片(2)之间;透过第一衰减片(2)的光经过聚焦透镜(3)后射入第二个45°全反镜,并依次在第二个45°全反镜、第三个45°全反镜、第四个45°全反镜、第五个45°全反镜、第六个45°全反镜之间反射,从第六个45°全反镜射出的光射入第二个衰减片(9),透过第二个衰减片(9)的光射入光束质量分析仪(4)。3.如权利要求2所述的激光器发散角及光斑形状测量装置,其特征还在于,所述6个45°全反镜(5)中,第二个45°全反镜、第三个45°全反镜、第四个45°全反镜、第五个45°全反镜、第六个45°全反镜相互之间的角度和位置关系为第二个45°全反镜的镜面与聚焦透镜(3)的平面截面成45°角,透过所述聚焦透镜(3)的光射向所述第二个45°全反镜,并且经过第二个45°全反镜的反射光与入射光成直角;第三个45°全反镜的镜面与所述第二个45°全反镜的镜面平行相对,使得从所述第二个45°全反镜反射出的光射入所述第三个45°全反镜,并且经过第三个45°全反镜的反射光与入射光成直角;第四个45°全反镜的镜面与所述第三个45°全反镜的镜面成直角,使得从所述第三个45°全反镜反射出的光射入所述第四个45°全反镜,并且经过第四个45°全反镜的反射光与入射光成直角;第五个45°全反镜的镜面与所述第四个45°全反镜的镜面平行相对,使得从所述第四个45°全反镜反射出的光射入所述第五个45°全反镜,并且经过第五个45°全反镜的反射光与入射光成直角;第六个45°全反镜的镜面与所述第五个45°全反镜的镜面成直角,使得从所述第五个45°全反镜反射出的光射入所述第六个45°全反镜,并且经过第六个45°全反镜的反射光与入射光成直角;第六个45°全反镜的镜面与第二衰减片(9)的平面方向成45°角,使得从第六个45°全反镜射出的光射入第二衰减片(9)。4.如权利要求1所述的激光器发散角及光斑形状测量装置,其特征还在于,所述聚焦透镜(3)的焦距长度为I米。5.一种激光器参数测量装置,包括激光器(I)、聚焦透镜(3)、光束质量分析仪(4),其特征在于,该测量装置还包括第一分光镜¢)、功率...
【专利技术属性】
技术研发人员:沙鹏飞,宋兴亮,赵江山,李慧,彭卓君,鲍洋,周翊,王宇,
申请(专利权)人:中国科学院光电研究院,
类型:实用新型
国别省市:
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