大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法，该大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；分束镜设置于激光器的出射光路上；第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。本发明专利技术提供了一种可解决大口径取样光栅取样率的测试问题，并很好的保证了测试精度的大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属光学领域，涉及一种光栅取样率的测试装置及测试方法，尤其涉及一种。
技术介绍
在惯性约束聚变系统的终端靶场子系统中，在三倍频激光进入终端靶场之前，需要采用取样光栅(BSG)将透射的三倍频激光按一定的比例取样到激光参数诊断系统。取样光栅是适用于整个波长范围的取样元件，它可应用于大口径光束的取样，在基本不影响主光束的前提下，为激光参数诊断系统提供取样光束。为了保证主光束打靶的能量，取样光束的取样效率一般在5%。以下。受限于光栅加工设备与制作工艺,往往加工出的大口径取样光栅取样率一般与设计值存在偏差，因此，大口径取样光栅的取样率精确标定十分重要。目前常用的传统测试方法有以下两种方法1:将激光经平行光管准直成与取样光栅有效通光口径相匹配的平行光束，在取样光栅主光束与-1级衍射处由两个功率计测试激光功率(或能量计测量激光能量)，计算取样光栅的取样系数。该方法缺点为测试时需使用大口径平行光管与大口径功率计(能量计)，测试设备研制加工费用高(至少几百万)，经济性差。目前均不采用此方法。方法2 :将小口径激光光束在大口径取样光栅上不同区域随机取几点进行测试，该方法的缺点不能定量反映整个取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于：所述大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；所述分束镜设置于激光器的出射光路上；所述第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；所述二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；所述第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的?1级衍射光路上；所述第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。

【技术特征摘要】
1.一种大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；所述分束镜设置于激光器的出射光路上；所述第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；所述二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；所述第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；所述第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。2.根据权利要求1所述的大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于激光器和分束器之间的平行光管。3.根据权利要求2所述的大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于激光器和平行光管之间的耦合器。4.根据权利要求3所述的大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于平行光管出瞳口的光阑。5.根据权利要求2或3或4所述的大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述平行光管是宽波段离轴反射式平行光管。6.根据权利要求5所述的大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于所述光阑是...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永权，赵建科，段亚轩，李霞，李坤，赛建刚，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：