【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种吸附结构与贴膜机,尤其涉及一种利用负压产生吸力的吸附结构与具有该吸附结构的贴膜机。
技术介绍
参阅图1,一般,于基板101上贴附例如感光性抗蚀剂片体(photosensitiveresist film)等软质片体102,是利用贴膜机自动化作业进行。该贴膜机具有一组将片体102拉出的导引件11、一支用以吸附片体102并将片体102暂时贴附至基板101上的吸附结构2、一组抽气以提供所述吸附结构2负压而吸附片体102的负压源12,及一组滚压暂时贴附有片体102的基板101而使片体102附着于基板101上的滚轮组13。参阅图2、图3,并配合参阅图1,其中,所述吸附结构2设置于所述导引件11和所述滚轮组13间并与所述负压源12连接,包含一块前片体21、一块吸附片体22、一块上片体23,及二块侧片体24。所述前片体21截面概成弧形,邻近该滚轮组13设置。所述吸附片体22截面概成弧形,自所述前片体21的底侧长边朝远离所述前片体21顶侧长边方向并向所述导引件11延伸,并具有多数穿孔221。所述上片体23连接所述前片体21和所述吸附片体22的顶侧长边,并具有多数间隔 ...
【技术保护点】
一种吸附结构,供连接一负压源以吸附一片体,其特征在于,所述吸附结构包括:一结构本体,形成有一第一气室与至少一第二气室,所述负压源对所述第一气室提供负压,所述结构本体包括一第一间隔壁部,介于所述第一气室与所述第二气室之间并且包括二侧壁区与一连接于二侧壁区之间的中央壁区,所述中央壁区设有多数贯穿而连通所述第一气室与所述第二气室的第一穿孔;以及一第一壁部,间隔于所述第一间隔壁部并且具有一面向所述片体的外壁面,且所述第一壁部设有多数贯穿而连通所述第二气室的第二穿孔,多数第二穿孔分布于所述第一壁部的范围大于多数第一穿孔分布于所述中央壁区的范围。
【技术特征摘要】
2011.11.02 TW 1002206971.一种吸附结构,供连接一负压源以吸附一片体,其特征在于,所述吸附结构包括 一结构本体,形成有一第一气室与至少一第二气室,所述负压源对所述第一气室提供负压,所述结构本体包括 一第一间隔壁部,介于所述第一气室与所述第二气室之间并且包括二侧壁区与一连接于二侧壁区之间的中央壁区,所述中央壁区设有多数贯穿而连通所述第一气室与所述第二气室的第一穿孔;以及 一第一壁部,间隔于所述第一间隔壁部并且具有一面向所述片体的外壁面,且所述第一壁部设有多数贯穿而连通所述第二气室的第二穿孔,多数第二穿孔分布于所述第一壁部的范围大于多数第一穿孔分布于所述中央壁区的范围。2.如权利要求1所述的吸附结构,其特征在于所述结构本体还形成有一第三气室,且所述结构本体还包括一第二壁部与一第二间隔壁部,所述第二壁部与所述第一间隔壁部配合界定出所述第一气室,所述第二间隔壁部连接所述第一壁部与所述第二壁部并且与所述第一、第二壁部配合界定出所述第三气室,且所述第二间隔壁部设有至少一连通所述第一气室与所述第三气室的第三穿孔。3.如权利要求2所述的吸附结构,其特征在于所述第一壁部具有一第一端缘与一第二端缘,所述片体由所述第二端缘朝所述第一端缘的方向进给,所述第三气室较所述第二气室邻近所述第一端缘,且所述第三穿孔大于任一第一穿孔。4.如权利要求3所述的吸附结构,其特征在于所述多数第一穿孔小于等于所述多数第二穿孔。5.如权利要求4所述的吸附结构,其特征在于所述结构本体还包括至少一连接于所述第一间隔壁部与所述第一壁部之间的支撑肋,支撑肋与所述第一间隔壁部、所述第一壁部配合界定出多数第二气室。6.如权利要求5所述的吸附结构,其特征在于所述结构本体为铝挤材并且呈长条状,所述多数第三穿孔为钻设于所述第二壁部的孔洞界定出,且所述吸附结构还包含一对分别设置于所述结构本体两端的端盖与一遮壁多数孔洞的塞件,所述负压源设置于一对端盖。7.如权利要求1-6任一项所述的吸附结构,其特征在于所述结构本体供区隔为一中间段与二侧段,所述中央壁区位于所述中间段,所述多数第二穿孔分布于所述第一壁部对应所述中间段与二侧段的区域。8.一种具有吸附结构的贴膜机,用以将一片体贴附于一基板上,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖金森,
申请(专利权)人:志圣工业股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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