化学药液储液罐转换连接器制造技术

本发明专利技术提供一种化学药液储液罐转换连接器，所述化学药液储液罐转换连接器设有供液连接口、补气连接口、超压溢流排气孔和回液连接口。本发明专利技术的化学药液储液罐转换连接器将供液、回液、补气和超压溢流排气等功能连接集成于一体，可满足复杂和不同的药液输送工艺使用要求；当储液罐内气压大于设定压力时，超压溢流排气孔排气，使罐内气压稳定，有利于供液的稳定，并且超压排气的临界压力可调；带有多孔板的回液连接口，可以减小回流药液对储液罐内药液的冲击，有利于供液和药液本身的稳定，且减小了噪音。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种将供液、回液、补气、超压溢流排气等多种功能连接集于一体的化学药液储液罐转换连接器。
技术介绍
在半导体制造工艺中需要用到各种化学药液，其中包括强腐蚀性药液，而此药液都是由工艺设备外部供给的浓度较高的原液经过一定比例稀释后方可使用的。现阶段所使用的化学液原液基本都是标准品，由于其具有较强的腐蚀性，在盛装、保存和使用过程中都要尽量避免与操作人员直接接触或直接暴露于环境中，以免污染环境或被环境污染。存储药液的储液罐是由耐化学药液腐蚀的材料制成，储液罐顶部通常设有两个连接口，其中一个可以作为备用或者根据需要连接。其连接形式和液体输送形式较为单一，不能满足较复杂的输送工艺要求。在实际使用过程中，由厂端向工艺设备供给化学药液原液时，出于供给的稳定性和安全性等方面的考虑，除了简单的供液或通气接口外还需要储液罐具备连接其他需求管路的功能，以便适应较复杂或者功能要求较多的药液供给系统。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是提供一种能够与现有的化学原液储液罐配合使用，并将供液、回液、补气、超压溢流排气等多种功能连接集于一体的化学药液储液本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述化学药液储液罐转换连接器上设有供液连接口（3）、补气连接口（4）、超压溢流排气孔（1）和回液连接口（2）；所述超压溢流排气孔（1）为二阶圆通孔，包括第一阶排气通孔和第二阶排气通孔，所述第二阶排气通孔与储液罐（13）相连，所述第一阶排气通孔的直径大于所述第二阶排气通孔的直径。

【技术特征摘要】
1.一种化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述化学药液储液罐转换连接器上设有供液连接口(3)、补气连接口(4)、超压溢流排气孔(I)和回液连接口(2);所述超压溢流排气孔(I)为二阶圆通孔，包括第一阶排气通孔和第二阶排气通孔，所述第二阶排气通孔与储液罐(13)相连，所述第一阶排气通孔的直径大于所述第二阶排气通孔的直径。2.根据权利要求1所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述第一阶排气通孔内安装有端盖(5)、弹簧(6)和密封珠(7)，所述端盖(5)和所述密封珠(7)分别置于所述弹簧(6)的两端，所述密封珠(7)在弹簧(6)作用下将所述第二阶排气通孔活动密封，所述端盖(5)上设有通孔。3.根据权利要求2所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述端盖(5)上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐能，初国超，裴立坤，吴仪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：