下载化学药液储液罐转换连接器的技术资料

文档序号:8558286

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本发明提供一种化学药液储液罐转换连接器,所述化学药液储液罐转换连接器设有供液连接口、补气连接口、超压溢流排气孔和回液连接口。本发明的化学药液储液罐转换连接器将供液、回液、补气和超压溢流排气等功能连接集成于一体,可满足复杂和不同的药液输送工艺...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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