处理基板的方法和设备技术

本发明专利技术提供一种处理基板的设备和方法，更特别地，为用于执行图案工艺来处理基板的设备和方法。该基板处理设备包括平台，在所述平台上放置基板；排放单元，所述排放单元排放油墨以在放置在所述平台上的所述基板上形成线路；固化单元，所述固化单元固化排放的油墨；和传送单元，所述传送单元移动所述平台或移动所述排放单元及所述固化单元。

【技术实现步骤摘要】
处理基板的方法和设备
此处公开的本专利技术涉及处理基板的设备和方法，更特别地，涉及执行直接书写类型的印刷工艺（directwritetypeprintingprocesses）的设备和方法。
技术介绍
用于制造在印刷电路板（PCB）或平板显示器（FPD）中使用的电路线路的光刻工艺正渐增地被直接书写类型的印刷工艺替代。由于电路线路直接形成在基板上，直接书写类型的印刷工艺简单并能提供高的基板生产量。此外，与光刻工艺不同，直接书写类型的印刷工艺由于化学制品的使用被最小化，因而是环境友好的。然而，由于精确控制油墨的厚度困难，直接书写类型的印刷工艺的使用受到限制。此外，最近引入的电动液压方法使得控制在具有微小厚度的液柱中的油墨成为可能。这样，直接书写类型的印刷工艺可使用在典型的PCB或FPD的制造工艺中，并且，进一步地将使用在半导体装置的制造工艺中。[专利文件]韩国专利登记号10-1000715（2010年12月6日登记）
技术实现思路
本专利技术提供通过单个工艺在基板上形成和固化线路的处理基板的设备和方法。然而，本专利技术并不限于此，因而，本领域技术人员从下面的说明及附图将清楚地理解此处没有说明的其他的处理基板的设备和方法。本专利技术实施例提供基板处理设备，包括：平台，在所述平台上放置基板；排放单元，所述排放单元排放油墨以在放置在所述平台上的所述基板上形成线路；固化单元，所述固化单元固化所排放的油墨；和传送单元，所述传送单元移动所述平台或移动所述排放单元及所述固化单元。在一些实施例中，所述排放单元和所述固化单元可在所述平台上方沿所述排放单元和所述固化单元的移动方向排列成直线。在其他实施例中，所述固化单元可包括发出光线的照射部件。仍在其他实施例中，所述照射部件可提供为多个，并且所述照射部件可与线路一一对应，以发出光线到所述线路上。还在其他实施例中，所述照射部件可提供为具有与所有线路的宽度对应的宽度的狭缝形态，并且发出光线到与所述所有线路的宽度对应的区域。还在其他实施例中，所述照射部件可在从垂直向下的方向向其移动方向倾斜的方向上发出光线。在进一步的实施例中，所述照射部件可发出激光或者紫外线。在更进一步的实施例中，所述固化单元可包括加热部件，所述加热部件产生热量。又在进一步的实施例中，所述固化单元可包括喷射部件，所述喷射部件用于喷射高温不熔微粒或高温气体。又在进一步的实施例中，所述排放单元可包括喷嘴，所述喷嘴中的每个排放所述油墨。在更进一步的实施例中，所述基板处理设备还可包括供电设备，所述供电设备施加高压到所述排放单元，其中所述喷嘴提供为微小针形态，并使用电流体动力学方法根据所述高压排放成液柱形状的油墨。又在更进一步的实施例中，所述基板处理设备还可包括旋转单元，所述旋转单元旋转所述平台。还在更进一步的实施例中，所述油墨可为导电油墨。在本专利技术的其他实施例中，基板处理方法包括：将基板放置在平台上；通过在所述平台上方水平移动的排放单元排放油墨，以在放置在所述平台上的所述基板上形成第一线路；和通过跟随所述排放单元的固化单元固化所述排放的油墨。在一些实施例中，在所述排放的油墨的固化过程中，可向所述排放的油墨发出光线以固化所述油墨。在其他实施例中，在所述排放的油墨的固化过程中，可发出光线使得所述光线的束与所述第一线路一一对应。仍在其他实施例中，在所述排放的油墨的固化过程中，可向与所有所述第一线路的宽度对应的区域发出光线。又在其他实施例中，在所述排放的油墨的固化过程中，所述光线可在从垂直向下的方向向其移动方向倾斜的方向上发出。还在其他实施例中，所述基板处理方法还可包括向所述排放单元施加高压，其中在所述第一线路的形成过程中，包括在所述排放单元中且提供为微小针形态的喷嘴通过使用电流体动力学方法根据所述高压喷射成液柱形状的所述油墨。在进一步的实施例中，所述基板处理方法还可包括：旋转所述平台大约90度；通过在所述平台上方水平移动的所述排放单元排放所述油墨，以形成垂直于在所述基板上形成的所述第一线路的第二线路；及通过跟随所述排放单元的所述固化单元固化所述排放的油墨的所述第二线路。附图说明附图被包括以提供对本专利技术的进一步理解，并被合并入及构成本说明书的一部分。附图示出了本专利技术的示例性实施例，并与说明书一起用来解释本专利技术的原理。在附图中：图1是示出根据本专利技术一实施例的基板处理设备的立体图（perspectiveview）；图2是示出图1中排放单元的立体图；图3是示出图2中排放单元的操作的横截面图；图4是示出图1中的固化单元的立体图；图5是示出图4中的固化单元的底视图；图6是示出图4中固化单元的操作的横截面图；图7是示出根据本专利技术另一实施例的固化单元的立体图；图8是示出图7中的固化单元的底视图；图9和图10是示出图1中固化单元的操作的横截面视图；图11是示出根据本专利技术另一实施例的基板处理方法的流程图；图12和13是示出图11中的基板处理方法的立体图；和图14和图15是示出图11中的基板处理方法的后续工艺的立体图。具体实施方式此处使用的术语和附图为示例性术语和附图，用来描述本专利技术实施例的示例性实施例，并且因此本专利技术不限于此。此外，将排除涉及公知技术的详细描述以免不必要的模糊本专利技术的主题。在下文中，将描述根据本专利技术的基板处理设备100。基板处理设备100使用直接书写方法在基板S上直接形成图案。基板处理设备100可处理印刷电路板、使用在平板显示器中的诸如玻璃基板的透明基板和用来制造半导体装置的各种晶片。例如，基板处理设备100可在玻璃基板上将导电油墨形成为线状以形成平板显示器的透明的电极线路。在下文中，将描述根据本专利技术的一个实施例的基板处理设备100。图1是示出基板处理设备100的立体图；参阅图1，基板处理设备100可包括平台1100，排放单元1200，固化单元1400，和传送单元1500。平台1100支撑基板S。基板S可从基板处理设备100的外部被传送至基板处理设备100并被放置在平台1100上。平台1100的顶表面可具有与基板S形状类似或者相同的形状，并且具有比基板S更大的面积。例如，当处理用于制造平板显示器的玻璃基板时，平台1100可具有面积比玻璃基板面积大的四方形状。排放单元1200排放油墨I。油墨I可以是导电油墨。油墨I的类型和成分可根据使用基板处理设备100的工艺适当改变。排放单元1200设置在平台1100的上方。排放单元1200可排放油墨至放置在平台1100上的基板S的顶表面上。排放单元1200可被水平移动。当排放单元1200在平台1100之上水平移动并排放油墨I时，可以在放置在平台1100上的基板S的顶表面上在排放单元1200的移动方向形成线路。该线路可以为各种电路线路中的一种。例如，由导电油墨形成的线路可为平板显示器的透明电极线路。排放单元200可使用各种方法排放油墨I。例如，可使用诸如连续喷射（CJ）方法的按需滴注（DOD）型喷墨方法、压电式喷墨方法、热喷墨方法或电流体动力学方法排放油墨I。在下文中，为方便说明，将例示电流体动力学方法。然而排放单元1200排放油墨I使用的方法并不限于电流体动力学方法，因而，不仅可使用上述方法，而且还可使用其他的方法。图2是示出图1中排放单元1200的立体图；参阅图2，排放单元1200可包括本体1210和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理设备，包括：平台，在所述平台上放置基板；排放单元，所述排放单元排放油墨以在放置在所述平台上的所述基板上形成线路；固化单元，所述固化单元固化所述排放的油墨；和传送单元，所述传送单元移动所述平台或移动所述排放单元及所述固化单元。

【技术特征摘要】
2011.09.30 KR 10-2011-0099835;2011.12.27 KR 10-201.一种基板处理设备，包括：平台，在所述平台上放置基板；排放单元，所述排放单元排放油墨以在放置在所述平台上的所述基板上形成线路；固化单元，所述固化单元固化所述排放的油墨；和传送单元，所述传送单元移动所述平台或移动所述排放单元及所述固化单元；所述基板处理设备还包括供电设备，所述供电设备施加高压到所述排放单元的本体，通过本体所述高压施加到所述排放单元的喷嘴上，其中所述喷嘴提供为微小针形态，并使用电流体动力学方法根据所述高压排放成液柱形状的油墨；所述供电设备施加高压至所述排放单元的本体，所述平台由供电设备充以负电或者接地，本体和平台之间产生根据高压的电场；所述供电设备调节施加到本体的高压以调节液柱的直径。2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中固化单元包括照射部件，所述照射部件发出光线。3.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中所述照射部件提供为多个，并且所述照射部件与所述线路一一对应，以发出光线到所述线路上。4.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中所述照射部件提供为具有与所有所述线路的宽度对应的宽度的狭缝形态，并且发出光线到与所有所述线路的宽度对应的区域。5.根据权利要求2-4任一项所述的基板处理设备，其中所述照射部件在从垂直向下的方向向其移动方向倾斜的方向上发出光线。6.根据权利要求2-4任一项所述的基板处理设备，其中所述照射部件发出激光或者紫外线。7.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述排放单元和所述固化单元在所述平台上方沿所述排放单元和所述固化单元的移动方向排列成直线。8.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述固化单元包括加热部件，所述加热部件产生热量。9...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴铁镐，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：