激光输出调整装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光输出调整装置及方法。激光输出调整装置包括：激光部（100），生成激光光束（10）；光学部（200），提供激光光束（10）经过的路径；加工部（300），使经过光学部（200）的激光光束（10）照射到基板（20）；第一测定部（400），设置于激光部（100）和光学部（200）之间，测定生成于激光部（100）的激光光束（10）的输出能量；第二测定部（500），设置于光学部（200）的内部，测定经过光学部（200）的激光光束（10）的输出能量；控制部（600），接收第一测定部（400）和第二测定部（500）所测定的激光光束（10）的输出信号，并将信号传送到激光部（100），以调整生成在激光部（100）的激光光束（10）的输出能量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。具体为，通过由第一测定部和第二测 定部对在激光部生成的激光光束进行测定，可容易地对照射在基板上的激光光束的输出能 量进行调整的。
技术介绍
近年来，随着平板显示器装置，尤其是在液晶显示器(LCD)的需求的增加和大型化 的趋势，其应用程度、尺寸增大及分辨率增加的速度也在加快，且为提高生产效率并实现价 格的低廉化，在简化制造工艺和提高收益率方面付出了很多努力。液晶显示器的基本结构， 由形成有黑色矩阵、彩色滤光膜和共同电极的上部基板，及形成有像素区域、像素电极、开 关元件和线路的下部基板，以及填充于所述上部基板和下述基板之间的液晶所构成。这种在下部基板上形成的结构组成成分，导致在制造工艺中出现线路的断线或短 路等不良现象，且随图像元件显示面积的大型化，这种缺陷也越来越多，因此，为提高液晶 显示器的质量和稳定性，需要可消除这些缺陷的修补(R印air)技术。一直备受瞩目的修补技术是，具备修补用的备用线路，在发生缺陷时，连接备用线 路对断线进行修补的方法，但若修补线路过长时，信号水平会因线路电阻值而降低，从而对 液晶面板的动作特性产生不利影响。因此，最近较受欢迎的是使用激光化学气相沉积法的修补线路法。即，基本上是采 用在发现缺陷时，利用激光来切断缺陷部位的某一部位，并通过化学气相沉积法来沉积修 补线路并形成图案的方法，或是在线路断线时，通过激光化学气相沉积法(Laser CVD)沉积 金属，从而使断开的线路电连接的方式，进而完成修补作业。这种激光化学气相沉积法修补 方法的优点在于，断线时可立即在断线部位按所期望的形状生长金属线路，其修补工艺简 单，且可进行包括光栅线路和数据线路在内的各种修补作业。而且，激光化学气相沉积法不 仅可修补基板的缺陷，还可用于微细线路的沉积工艺。参照图1，现有的激光化学气相沉积法装置中，在激光部100生成的激光光束10经 过光学部200，在从加工部300照射到基板20的过程中，由加工部测定器310对其输出值进 行测定。但激光光束10输出能量减少的现象发生时，则很难判断造成激光光束10输出能 量减少的部位。另外，还存在难以将减少的激光光束的输出能量重新调整所需强度的难题。另外，除了激光化学气相沉积法装置之外，对切断发生短路的不良线路对缺陷进 行修补的一般激光装置，及用激光照射显示器的缺陷像素使其暗点化后对缺陷进行修补的 高像素修补(HPR)装置等来说，准确保持使用者所期望的激光输出强度，在确保工艺可再现 性和稳定性方面，尤为重要。
技术实现思路
因此，本专利技术旨在解决上述现有技术存在的各种问题，目的在于提供一种在激光 的沉积和修补工艺中，使激光光束的输出能量始终保持一致的。此外，本专利技术的目的还在于，提供一种能够容易识别出造成激光光束输出能量减 少的激光装置组成部分的。另外，本方明的目的还在于，提供一种在激光加工时，可实时对激光光束的输出能 量进行测定的。还有，本专利技术的目的在于，提供一种在工艺中激光光束的输出能量出现异常时，可 自动调整激光光束的输出能量，以增强工艺可靠性和稳定性的。为达到上述目的，本专利技术提供的激光输出调整装置的特点在于，包括激光部，生 成激光光束；光学部，提供上述激光光束所经过的路径；加工部，使经过上述光学部的激光 光束照射到基板上；第一测定部，设置于上述激光部与上述光学部之间，用于测定在上述激 光部生成的激光光束的输出能量；第二测定部，设置于上述光学部内，用于测定经过上述光 学部的激光光束的输出能量；控制部，接收由上述第一测定部和上述第二测定部测定的激 光光束的输出信号，将信号传送到上述激光部，从而调整在上述激光部生成的激光光束的 输出能量。另外，为达到上述目的，本专利技术的激光输出调整方法的特点在于，在生成激光光束 的激光部和提供激光光束所经过的路径的光学部之间设置第一测定部，并将在第一测定部 上测定的在上述激光部生成的激光光束的输出信号，和在设置于上述光学部内部的第二测 定部所测定的经过上述光学部的激光光束的输出信号发送至上述激光部，从而调整在上述 激光部生成的激光光束的输出能量。如上所述，本专利技术提供的结构的效果在于在利用激光进行沉积、修补的工艺中， 可使所期望的激光光束的输出能量始终保持一致。此外，本专利技术的效果还在于可容易地确定出造成激光光束输出能量减少的激光 装置组成部分，另外，本专利技术的效果还在于在激光加工时，可实时对激光光束的输出能量进行测定。此外，本专利技术的效果还在于工艺中激光光束的输出能量出现异常时，可自动调整 激光光束的输出能量，进而增强工艺的可靠性和稳定性。附图说明图1为现有的激光输出装置的示意图。图2为本专利技术的实施例所示的激光输出调整装置的结构示意图。图3为本专利技术的一实施例所示的在第一测定部上对激光光束的输出能量进行测 定的示意图。图4为本专利技术的一实施例所示的在第二测定部上对激光光束的输出能量进行测 定的示意图。图5为本专利技术的一实施例所示的在散射器上的激光光束扩散的示意图。附图标 记10、11、12、12，:激光光束20 :基板100 :激光部200:光学部300:加工部310:加工部测定器400:第一测定部410:第一射束分离器420:覆盖板500:第二测定部510:第二射束分离器520:散射器530:电荷耦合器(CXD)600:控制部具体实施方式 下面，将举例说明本专利技术可实施的特定实施例并参照附图，对专利技术作以详细说明。 为使本行业人员能够充分实施本专利技术，将对这些实施例作以详细说明。本专利技术的各种实施例虽有所不同，但相互之间并不排斥。例如，这里所记载的特定形状，特定结构和特性与一实施例相关，且在不脱离本专利技术精神和范围的情况下，也可由其他的实施例来体现。另外， 各自公开的实施例中的个别结构组成部分的位置或配置，在不脱离本专利技术精神和范围的情况下也可进行变动。因此，后述详细说明并无限定之意，只要合理说明，本专利技术的范围则仅限定于与其权利要求所主张的内容等同的所有范围以及附加的权利要求。附图上相似的参照标号多角度而言，其实是相同的，或者说具有相似的功能，且为方便起见，也有可能会夸张地表现附图所示实施例的长度、面积、厚度及形态。下面，为使具备本专利技术所属
内一般知识的技术人员，都能够轻而易举地实施本专利技术，结合附图详细说明本专利技术的最佳实施例。本专利技术所提供的激光输出调整装置并不限定于基板的图形化工艺、线路沉积或线路切断等的缺陷修补工艺、沉积工艺和不合格像素的暗点化工艺等，本行业人员在使用激光输出装置的所有领域内，可根据能力对其加以应用。以下，以在激光化学气相沉积法工艺上使用本专利技术所提供的激光输出调整装置为例，加以说明。激光输出调整装置的构成图2为本专利技术的实施例所示的激光输出调整装置的结构示意图。参照图2，本专利技术的实施例所示的激光输出装置由激光部100，光学部200，加工部 300，第一测定部400，第二测定部500和控制部600构成。激光部100生成激光光束10，例如可生成Nd = YAG激光或二极管激光并照射到光学部200上。此外，激光部100接收由控制部600传送的信号，对生成的激光光束10的输出进行调整。此外，例如，激光部100可利用若干个激光光束提高生产效率，这是众所周知的技术，故在本说明书内不做详细说明。本实施例中使用的激光光束的个数本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光输出调整装置，其特征在于，包括：激光部，生成激光光束；光学部，提供所述激光光束经过的路径；加工部，使经过所述光学部的激光光束照射到基板上；第一测定部，设置于所述激光部与所述光学部之间，测定生成于所述激光部的激光光束的输出能量；第二测定部，设置于所述光学部的内部，测定经过所述光学部的激光光束的输出能量；控制部，接收由所述第一测定部和所述第二测定部测定的激光光束的输出信号，将信号传送到所述激光部，从而调整生成于所述激光部的激光光束的输出能量。

【技术特征摘要】
2011.09.28 KR 10-2011-00985011.一种激光输出调整装置，其特征在于，包括 激光部，生成激光光束； 光学部，提供所述激光光束经过的路径； 加工部，使经过所述光学部的激光光束照射到基板上； 第一測定部，设置于所述激光部与所述光学部之间，測定生成于所述激光部的激光光束的输出能量； 第二測定部，设置于所述光学部的内部，测定经过所述光学部的激光光束的输出能量; 控制部，接收由所述第一測定部和所述第二測定部測定的激光光束的输出信号，将信号传送到所述激光部，从而调整生成于所述激光部的激光光束的输出能量。2.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于 当由所述第一測定部測定的激光光束的输出能量小于预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述激光部出现问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，以使所述第一測定部測定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致， 当由所述第一測定部測定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致，而由所述第二測定部測定的激光光束的数据小于所述预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述光学部出现问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，以使所述第二測定部測定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致。3.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于，还包括 第一射束分离器，该第一射束分离器被安装在所述激光部和所述光学部之间，用于分离生成于所述激光部的激光光束。4.根据权利要求3所述的激光输出调整装置，其特征在于 所述第一射束分离器分离的激光光束占生成于所述激光部的激光光束的输出能量的1% 至 2% o5.根据权利要求3所述的激光输出调整装置，其特征在于，还包括 覆盖板，用于将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑薰，尹星进，金俊来，李伦在，金铉洙，池泳洙，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：