一种用于扩散工艺的防爆源瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块、蜂鸣器，采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装金属块泄压装置，当瓶内气压过大时，金属块被顶起泄压，电路导通，蜂鸣器报警；当气压恢复时，金属块落下，蜂鸣器停止报警。本实用新型专利技术的有益效果是实现了源瓶压力过大时自动泄压，同时通过报警通知人员排查，成功地避免了源瓶爆炸带来的危险。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池片制备工艺中的液态源扩散工艺使用的设备，具体地涉及一种用于扩散工艺的防爆源瓶。
技术介绍
太阳能、集成电路等半导体行业都需要使用液态POCl3做磷源扩散来形成PN结。磷源置于扩散源瓶中，通常所用源瓶的基本构造是由出气管、进气管、测温管和源瓶组成；源瓶的底部为两端略带弧度、底部为平面的结构，如图1所示。源瓶内为液态的POCl3，将N2通入液态POCl3中，携带气态的POCl3进入扩散炉完成磷扩散过程。但是如果进气出气管路接反，或者N2进气压力过大，或者出气管路有堵塞等现象，易导致源瓶内气压过大，会导致源瓶爆炸。而POCl3毒性较大，易挥发，对皮肤严重腐蚀，爆瓶泄露后危险性极大。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于扩散工艺的防爆源瓶，可以避免瓶内压力大导致源瓶破裂泄露，压力超过阈值后可以自动泄压并报警。本技术采用的技术方案是采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装泄压装置，泄压采用类似高压锅的金属块泄压，当瓶内气压过大时，金属块被顶起泄压，电路导通，蜂鸣器报警；当气压恢复时，金属块落下，蜂鸣器停止报警。本技术的有益效果是实现了源瓶压力过大时自动泄压，同时通过报警本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块和蜂鸣器，其特征在于：采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装金属块泄压装置和蜂鸣器。

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块和蜂鸣器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：方智，王庆钱，
申请(专利权)人：浙江鸿禧光伏科技股份有限公司，
类型：实用新型
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