感光性树脂组合物、图案形成方法、滤色器、和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性·密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。本发明专利技术的感光性树脂组合物含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂。式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团，但是至少一个表示有机基团。R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键。R3表示单键或有机基团。R4～R9各自独立地表示氢原子、有机基团等，但是没有R6和R7为羟基的情况。R10表示氢原子或有机基团。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。
技术介绍
负型感光性树脂组合物具有因紫外线等电磁波的照射而固化的特性。对于该感光性树脂组合物而言，由于可以通过使照射了电磁 波的部分固化而得到所需的形状的图案，因此被广泛地用于显示装置、半导体装置、电子部件、微电子机械系统(MEMS)等各种用途中。例如在显示装置中，可以作为液晶显示器、有机EL显示器等中的滤色器、黑矩阵等的材料使用。但是，近年来，在液晶显示器、有机EL显示器的制造时，进行了提高黑矩阵的遮光性，从而进一步提高显示对比度的尝试。因此，需要在用于形成黑矩阵的感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂。但是，如果像这样在感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂，则灵敏度就会降低，从而会存在图案形成中所需的曝光量增加的问题。另外，由于越是靠近基板的部分，固化越难以推进，因此会存在在显影中图案从基板上剥落、或者边缘的部分受到侵蚀而使图案的直行性降低的问题。专利文献专利文献1:日本特开2011-052214号公报
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性 密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。本专利技术人等为了达成上述目的，反复进行了深入研究。结果发现，通过使感光性树脂组合物中含有特定的化合物，可以解决上述问题，从而完成了本专利技术。具体来说，本专利技术提供如下所示的内容。本专利技术的第一方式是一种感光性树脂组合物，其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(I)表示的化合物、和遮光剂。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂，式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团；但是，R1和R2中的至少一个表示有机基团；R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键；R3表示单键或有机基团；R4和R5各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团；R6、R7、R8、和R9各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团；但是，没有R6和R7为羟基的情况；R6、R7、R8、和R9可以是它们中的2个以上键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键；R10表示氢原子或有机基团。FDA00002181682400011.jpg

【技术特征摘要】
2011.09.22 JP 2011-207589;2012.08.07 JP 2012-17481.一种感光性树脂组合物，其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(I)表示的化合物、和遮光剂，2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中，相对于所述光聚合引发剂100质量份，所述式(I)表示的化合物的...

【专利技术属性】
技术研发人员：盐田大，黑子麻祐美，野田国宏，石川达郎，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：