感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。本发明专利技术的感光性树脂组成物的特征在于：含有(成分A)具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、(成分B)光酸产生剂、(成分C)交联剂及(成分D)溶剂，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩二脲结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置，尤其涉及一种适于形成有机EL显示装置、液晶显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等的电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组成物及使用该正型感光性树脂组成物的硬化膜的形成方法。
技术介绍
在有机EL显示装置或液晶显示装置等中，设置着经图案形成的层间绝缘膜。该层间绝缘膜的形成时，广泛使用感光性树脂组成物，其原因在干用以获得必要的图案形状的エ序数少，而且可以获得充分的平坦性等。对于所述显示装置中的层间绝缘膜，除了期望绝缘性、耐溶剂性、耐热性及氧化铟锡(Indium Tin Oxide, I TO)溅镀适性优良等硬化膜的物性以外，期望高透明性。因此，尝试使用透明性优良的丙烯酸系树脂作为形成膜的成分。另ー方面，作为传真(facsimile)、电子复印机、固体摄像元件等的晶载彩色滤光片(on chip color filter)的成像光学系统或光纤连接器(optical fiberconnector)的光学系统材料，使用具有3 y m 100 U m左右的透镜径的微透镜、或将这些微透镜规则地排列而成的微透镜阵列。在微透镜或微透镜阵列的形成吋，已知以下方法形成相当于透镜的抗蚀剂图案后，通过加热处理使其熔融流动(melt flow)，而直接用作透镜的方法；或将熔融流动的透镜图案作为遮罩，通过干式蚀刻使透镜形状转印到底层上的方法等。所述透镜图案的形成时，广泛使用感光性树脂组成物。此种感光性树脂组成物例如可以举出日本专利特开平10-26829号公报、日本专利特开2004-264623号公报及日本专利特开2008-3532号公报。该显示装置类的制造时，使用蚀刻液、剥离液、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等多种化学液，对这些化学液的耐性变得需要。例如，日本专利特开2008-3532号公报中公开了与对作为剥离液的MEA (单こ醇胺)的耐性提高有关的专利技术，但关于对其他化学液特别是NMP的耐性提高，则未作记载。
技术实现思路
本专利技术所欲解决的课题在于提供ー种感光性树脂组成物，该感光性树脂组成物的硬化后的耐化学品性高，且即使进行加热也能获得透明性降低小的硬化膜，并且具有非常高的感度。另外，本专利技术所欲解决的其他课题在于提供ー种使用所述感光性树脂组成物的硬化膜及其制造方法、具备所述硬化膜的有机EL显示装置及液晶显示装置。本专利技术的所述课题是通过以下的〈1>、〈11>、〈15>、<17>或〈18>所记载的手段来解決。以下也一并记载作为优选实施态样的〈2> 〈10>、<12> 〈14>及〈16>。<1> ー种感光性树脂组成物，其特征在于包含(成分A)具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、(成分B)光酸产生剂、(成分C)交联剂及(成分D)溶齐IJ，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩ニ脲结构；<2>根据所述〈1>所记载的感光性树脂组成物，其特征在于所述封端异氰酸酯化合物的异氰酸酯基是经封端剂加以封端，所述封端剂是选自由肟化合物、内酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亚甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物及酰亚胺系化合物所组成的组群中；<3>根据所述〈1>或〈2>所记载的感光性树脂组成物，其特征在于所述封端异氰酸酷化合物是利用封端剂将具有缩ニ脲结构的多聚物的异氰酸酯基封端而成，所述具有缩ニ脲结构的多聚物是将选自由甲苯ニ异氰酸酯(TDI)、ニ苯基甲烷ニ异氰酸酯(MDI)、六亚甲基ニ异氰酸酯(HDi)及异佛尔酮ニ异氰酸酯(iroi)所组成的组群中的化合物多聚化而 获得；<4>根据所述〈1>至〈3>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于相对于感光性树脂组成物的总固体成分量，所述封端异氰酸酯化合物的含量为0.1质量％ 8质量％的范围；<5>根据所述〈1>至〈4>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于成分A为含有结构单元(al)的聚合物，所述结构単元(al)具有利用缩醛结构保护羧基所得的残基;<6>根据所述〈1>至〈5>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于成分A为含有结构单元(a2)的聚合物，所述结构単元(a2)具有羧基或酚性羟基；<7>根据所述〈1>至〈6>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于成分B为肟磺酸酯化合物；<8>根据所述〈1> 〈7>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于成分A为含有具有交联性基的结构单元(a3)的聚合物；<9>根据所述〈8>所记载的感光性树脂组成物，其特征在于具有交联性基的结构単元(a3)中所含的交联性基为选自由环氧基、氧杂环丁基及-NH-CH2-O-R (R表示氢原子或碳数为I 20的烷基)所表示的基团所组成的组群中的至少ー种；<10>根据所述〈1>至〈9>中任ー项所记载的感光性树脂组成物，其特征在于进ー步含有抗氧化剂；〈11> ー种硬化膜的形成方法，其特征在于包括以下エ序(I)应用エ序，将根据所述〈1>至〈10>中任ー项所记载的感光性树脂组成物应用到基板上；(2)溶剂除去エ序，从所应用的感光性树脂组成物中除去溶剤；(3)曝光エ序，利用活性光线对除去了溶剂的感光性树脂组成物进行曝光；(4)显影エ序，利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组成物进行显影 '及(5)后烘烤エ序，对经显影的感光性树脂组成物进行热硬化；<12>根据所述〈11>所记载的硬化膜的形成方法，其特征在于在所述显影エ序后、所述后烘烤エ序前，包括对经显影的感光性树脂组成物进行全面曝光的エ序；<13>根据所述〈11>所记载的硬化膜的形成方法，其特征在于在所述显影エ序后、所述后烘烤エ序前，不包括对经显影的感光性树脂组成物进行全面曝光的エ序；〈14>根据所述〈11>至〈13>中任ー项所记载的硬化膜的形成方法，其特征在于更包括(6)干式蚀刻エ序，对具有进行热硬化而获得的硬化膜的基板进行干式蚀刻；<15> ー种硬化膜，其特征在于利用根据所述〈11>至〈14>中任一项所记载的方法而形成；<16>根据所述〈15>所记载的硬化膜，其特征在于所述硬化膜为层间绝缘膜；<17> 一种有机EL显示装置，其特征在于具备根据所述〈15>或〈16>所记载的硬化膜；〈18>—种液晶显示装置，其特征在于具备根据所述〈15>或〈16>所记载的硬化膜。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供ー种感光性树脂组成物，该感光性树脂组成物的硬化后的耐化学品性高，且即使进行加热也能获得透明性降低小的硬化膜，具有非常高的感度。另外，根据本专利技术，可以提供ー种使用所述感光性树脂组成物的硬化膜及其制造方法、具备所述硬化膜的有机EL显示装置及液晶显示装置。附图说明图1为表示应用使用本专利技术的感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组成物，其特征在于，含有：成分A：具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、成分B：光酸产生剂、成分C：交联剂、及成分D：溶剂，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩二脲结构。

【技术特征摘要】
2011.09.26 JP 2011-209913;2012.03.12 JP 2012-05491.一种感光性树脂组成物，其特征在于，含有成分A :具有缩醛结构且通过酸的作用碱溶解性发生变化的树脂、成分B :光酸产生剂、成分C :交联剂、及成分D :溶剂，且成分C包含封端异氰酸酯化合物，所述封端异氰酸酯化合物的母结构为缩二脲结构。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于所述封端异氰酸酯化合物的异氰酸酯基是经封端剂加以封端，所述封端剂是选自由肟化合物、内酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亚甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物及酰亚胺系化合物所组成的组群中。3.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于所述封端异氰酸酯化合物为利用封端剂将具有缩二脲结构的多聚物的异氰酸酯基封端而成，所述具有缩二脲结构的多聚物的异氰酸酯基是将选自由甲苯二异氰酸酯(TDI)、二苯基甲烷二异氰酸酯(MDI)、六亚甲基二异氰酸酯(HDi)及异佛尔酮二异氰酸酯(iroi)所组成的组群中的化合物多聚化而获得。4.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于相对于感光性树脂组成物的总固体成分量，所述封端异氰酸酯化合物的含量为O.1质量％ 8质量％的范围。5.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于所述成分A为含有结构单元(al)的聚合物，所述结构单元(al)具有利用缩醛结构保护羧基所得的残基。6.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于所述成分A为含有结构单元(a2)的聚合物，所述结构单元(a2)具有羧基或酚性羟基。7.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于所述成分B为肟...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏木大助，山﨑健太，米泽裕之，霜山达也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：