【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域。2-A是ー种调制技术，该调制技术涉及的Sigma-Delta调制器是给I个Delta调制器的前端加上环路滤波器并把其放入环路中来构成的，在简单的情况下，积分器可被用作环路滤波器，因此，一般的Sigma-Delta调制器主要是由前端的积分器、I位A/D及反馈环路中的I位D/A来组成。由于该系统包括I个Delta调制器和I个积分器，积分器实际起到求和的作用，相当于数学符号中2的功能，Sigma-Delta调制器因而得名，这个系统常被简写为S-A调制器。
技术介绍
微机械加速度计是目前市场应用最广泛的传感器之一，微机械加速度计具有体积小、重量轻、可靠性高以及可批量生产等优点，在军事和民用方面都有着广阔的应用前景。直接数字输出是目前MEMS传感器发展的趋势，直接数字输出能够有效的降低应用系统的设计成本，并降低设计难度。利用S-A技术的微机械加速度计不仅能直接实现数字输出的需要，而且能够实现微加速度计闭环工作，増加系统的线性度、带宽和动态范围。在高性能应用领域，对...
【技术保护点】
Σ?Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，其特征在于，它包括微机械加速度计敏感结构（100）、电荷电压转换单元（101）、前级放大单元（102）、相关双采样与采样保持单元（103）、Σ?Δ调制器单元（104）和静电力反馈线性化单元（105），微机械加速度计敏感结构（100）的质量块与电荷电压转换单元（101）的输入端相连；电荷电压转换单元（101）的输出端与前级放大单元（102）的输入端相连；前级放大单元（102）的输出端与相关双采样与采样保持单元（103）的输入端相连；相关双采样与采样保持单元（103）的输出端与Σ?Δ调制器单元（104）的输入端...
【技术特征摘要】
1.Σ-Δ微加速度计接口 ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，其特征在于，它包括微机械加速度计敏感结构(100)、电荷电压转换单元(101)、前级放大单元(102)、相关双采样与采样保持单元(103)、Σ-Λ调制器单元(104)和静电力反馈线性化单元(105)， 微机械加速度计敏感结构(100)的质量块与电荷电压转换单元(101)的输入端相连； 电荷电压转换单元(101)的输出端与前级放大单元(102)的输入端相连； 前级放大单元(102)的输出端与相关双采样与采样保持单元(103)的输入端相连； 相关双采样与采样保持单元(103)的输出端与Σ-Λ调制器单元(104)的输入端相连； 相关双采样与采样保持单元(103)的输出端同时与静电力反馈线性化单元(105)的输入端相连； 静电力反馈线性化单元(105)的输出端与微机械加速度计敏感结构(100)的质量块反馈端相连； Σ-Δ调制器单元(104)的输出端输出差分的位流信号Out_n和Out_p。2.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓为，徐宏林，尹亮，吕炳均，付强，李拓，王庆一，李强，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。