Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路制造技术

Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明专利技术为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明专利技术方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域。2-A是ー种调制技术，该调制技术涉及的Sigma-Delta调制器是给I个Delta调制器的前端加上环路滤波器并把其放入环路中来构成的，在简单的情况下，积分器可被用作环路滤波器，因此，一般的Sigma-Delta调制器主要是由前端的积分器、I位A/D及反馈环路中的I位D/A来组成。由于该系统包括I个Delta调制器和I个积分器，积分器实际起到求和的作用，相当于数学符号中2的功能，Sigma-Delta调制器因而得名，这个系统常被简写为S-A调制器。
技术介绍
微机械加速度计是目前市场应用最广泛的传感器之一，微机械加速度计具有体积小、重量轻、可靠性高以及可批量生产等优点，在军事和民用方面都有着广阔的应用前景。直接数字输出是目前MEMS传感器发展的趋势，直接数字输出能够有效的降低应用系统的设计成本，并降低设计难度。利用S-A技术的微机械加速度计不仅能直接实现数字输出的需要，而且能够实现微加速度计闭环工作，増加系统的线性度、带宽和动态范围。在高性能应用领域，对于2-A微机械加速度计的输出精度要求越来越高，静电カ反馈的非线性对输出精度的影响越来越显著。目前人们对S-A微机械加速度计静电力反馈的非线性进行了大量的研究，但提出的改进措施较少。图2显示了现有的一种基于极板静电カ反馈的线性化电路，由敏感结构、电荷拾取电路、解调低通滤波器、电压放大电路、加法器、开关等组成。该电路虽然实现了基于极板静电カ反馈的线性化，但具有以下缺点 1)不适用于基于质量块静电カ反馈的2-A微加速度计接ロASIC电路； 2)该线性化电路由电压放大电路、加法器、开关等组成，功耗高，占用芯片面积大； 3)该线性化电路由于基于极板双路反馈的方式，线性化的精度依赖于施加于极板的反向激励电压的対称性，而电路中很难得到高度精确的完全反向的激励信号。综上，现有的2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于极板静电カ反馈的线性化电路，存在功耗高、占用芯片面积大、不适用于基于质量块静电カ反馈和线性化的精度依赖于施加于极板的反向激励电压的対称性等缺点。
技术实现思路
本专利技术目的是为了解决现有的2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于极板静电力反馈的线性化电路，存在功耗高、占用芯片面积大、不适用于基于质量块静电カ反馈和线性化的精度依赖于施加于极板的反向激励电压的对称性的问题，提供了ー种S-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路。本专利技术所述2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，它包括微机械加速度计敏感结构、电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持単元、S-A调制器单元和静电カ反馈线性化单元， 微机械加速度计敏感结构的质量块与电荷电压转换単元的输入端相连； 电荷电压转换单元的输出端与前级放大单元的输入端相连； 前级放大単元的输出端与相关双采样与采样保持単元的输入端相连； 相关双采样与采样保持単元的输出端与S-A调制器単元的输入端相连； 相关双采样与采样保持単元的输出端同时与静电カ反馈线性化単元的输入端相连； 静电カ反馈线性化単元的输出端与微机械加速度计敏感结构的质量块反馈端相连； 2-A调制器単元的输出端输出差分的位流信号Out_n和Out_p。本专利技术的优点本专利技术基于质量块静电力单反馈，提出的单反馈线性化电路单元仅由ー个放大器、三个电阻和两个开关组成，电路简单，功耗小，占用芯片面积小，不存在线性化的精度依赖激励电压对称性的问题，适用于基于质量块静电カ反馈的S-A微加速度计接ロ ASIC电路。附图说明图1是本专利技术所述2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路的结构示意 图2是
技术介绍
中涉及的现有基于极板静电カ反馈线性化的S-A微加速度计系统框图。具体实施例方式具体实施方式一下面结合图1说明本实施方式，本实施方式所述2-A微加速度计接ロ ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，它包括微机械加速度计敏感结构100、电荷电压转换单元101、前级放大单元102、相关双采样与采样保持单元103、S-A调制器単元104和静电カ反馈线性化単元105， 微机械加速度计敏感结构100的质量块与电荷电压转换単元101的输入端相连； 电荷电压转换单元101的输出端与前级放大单元102的输入端相连； 前级放大单元102的输出端与相关双采样与采样保持单元103的输入端相连； 相关双采样与采样保持単元103的输出端与I-A调制器単元104的输入端相连；相关双采样与采样保持単元103的输出端同时与静电カ反馈线性化単元105的输入端相连； 静电カ反馈线性化単元105的输出端与微机械加速度计敏感结构100的质量块反馈端相连； 2-A调制器単元104的输出端输出差分的位流信号0ut_n和0ut_p。电荷电压转换単元101由放大器和开关电容网络组成，通过开关控制来实现对微加速度计敏感结构100电荷信号的调制，实现电荷电压转换。前级放大単元102由放大器和电阻组成，也可以由放大器和开关电容网络组成，实现对电荷电压转换单兀101输出微弱信号的放大。相关双采样与采样保持単元103由放大器和开关电容网络组成，通过开关控制来实现对调制信号的解调，并通过相关双采样技术来消除运放的失调和1/f 噪声。由于系统处于闭环应用，微加速度计敏感结构100的质量块位移非常小，经过相关双采样与采样保持単元103解调的电压信号Vdis与质量块的位移近似成线性关系，如式(I)所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
Σ?Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，其特征在于，它包括微机械加速度计敏感结构（100）、电荷电压转换单元（101）、前级放大单元（102）、相关双采样与采样保持单元（103）、Σ?Δ调制器单元（104）和静电力反馈线性化单元（105），微机械加速度计敏感结构（100）的质量块与电荷电压转换单元（101）的输入端相连；电荷电压转换单元（101）的输出端与前级放大单元（102）的输入端相连；前级放大单元（102）的输出端与相关双采样与采样保持单元（103）的输入端相连；相关双采样与采样保持单元（103）的输出端与Σ?Δ调制器单元（104）的输入端相连；相关双采样与采样保持单元（103）的输出端同时与静电力反馈线性化单元（105）的输入端相连；静电力反馈线性化单元（105）的输出端与微机械加速度计敏感结构（100）的质量块反馈端相连；Σ?Δ调制器单元（104）的输出端输出差分的位流信号Out_n和Out_p。

【技术特征摘要】
1.Σ-Δ微加速度计接口 ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，其特征在于，它包括微机械加速度计敏感结构(100)、电荷电压转换单元(101)、前级放大单元(102)、相关双采样与采样保持单元(103)、Σ-Λ调制器单元(104)和静电力反馈线性化单元(105)， 微机械加速度计敏感结构(100)的质量块与电荷电压转换单元(101)的输入端相连； 电荷电压转换单元(101)的输出端与前级放大单元(102)的输入端相连； 前级放大单元(102)的输出端与相关双采样与采样保持单元(103)的输入端相连； 相关双采样与采样保持单元(103)的输出端与Σ-Λ调制器单元(104)的输入端相连； 相关双采样与采样保持单元(103)的输出端同时与静电力反馈线性化单元(105)的输入端相连； 静电力反馈线性化单元(105)的输出端与微机械加速度计敏感结构(100)的质量块反馈端相连； Σ-Δ调制器单元(104)的输出端输出差分的位流信号Out_n和Out_p。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓为，徐宏林，尹亮，吕炳均，付强，李拓，王庆一，李强，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：