一种加速度计制造技术

一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本实用新型专利技术采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本实用新型专利技术的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本实用新型专利技术的稳定性。此外，本实用新型专利技术的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种加速度计
本技术涉及传感器领域，尤其涉及一种加速度计。
技术介绍
现今，加速度计可适用于诸多应用，例如在测量地震的强度并收集数据、检测汽车碰撞时的撞击强度、以及在手机及游戏机中检测出倾斜的角度和方向。而在微电子机械系统(MEMS)技术不断进步的情况下，许多纳米级的小型加速度计加速度计已经被商业化广泛米用。常用的MEMS的加速度计分压阻式和电容式两种，压阻式加速度计例如申请号为 200480003916. 公开日为2006年3月15日的中国专利技术专利申请。压阻式加速度计一般有悬臂梁及质量块构成，并将力敏电阻设置在悬臂梁上。质量块会因加速度而运动，使得悬臂梁变形，从而引起电阻值的变化。电容式加速度计例如专利号为US6805008公开日为2004年10月19日的美国专利，电容式加速度计也包括悬臂梁及质量块。当有加速度时，加速度计的外框架会向加速度方向运动，而由于惯性的作用，质量块的位移会很小，使得质量块与另一电极间的间隙距离发生变化并导致电容的变化。这两种加速度计都通过微加工工艺制成，具有体积小、造价低等特点。然而，悬臂梁为弹性梁，而且只有四根悬臂梁将质量块的四边与框架相连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；其特征在于，所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。

【技术特征摘要】
1.ー种加速度计，包括測量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弾性梁和质量块；其特征在于，所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。2.如权利要求I所述的加速度计，其特征在于，所述质量块上设有多个凹陷部，所述活动限位体为多个，每个所述活动限位体分别设置在所述凹陷部内。3.如权利要求2所述的加速度计，其特征在于，所述质量块与所述活动限位体之间形成活动间隙。4.如权利要求I所述的加速度计，其特征在于，所述弹性梁分别设...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞度立，于连忠，杨长春，
申请(专利权)人：中国科学院地质与地球物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：