下载一种加速度计的技术资料

文档序号:8472779

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一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块;所述活动限位体远离所述框架,并通过连接臂与所述框架相连接;所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连...
该专利属于中国科学院地质与地球物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院地质与地球物理研究所授权不得商用。

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