一种加速度计制造技术

一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传感器领域，尤其涉及一种加速度计
技术介绍
现今，加速度计可适用于诸多应用，例如在测量地震的强度并收集数据、检测汽车碰撞时的撞击强度、以及在手机及游戏机中检测出倾斜的角度和方向。而在微电子机械系统(MEMS)技术不断进步的情况下，许多纳米级的小型加速度计已经被商业化广泛采用。常用的MEMS的加速度计分压阻式和电容式两种，压阻式加速度计例如申请号为200480003916. 公开日为2006年3月15日的中国专利技术专利申请。压阻式加速度计一般有悬臂梁及质量块构成，并将力敏电阻设置在悬臂梁上。质量块会因加速度而运动，使得悬臂梁变形，从而引起电阻值的变化。但在没有加速度或者加速度幅度比较微小的情况下，悬臂梁不会产生巨大变形。使得电阻值没有显著变化。只有当加速度的幅度大至悬臂梁产生变形时，该加速度计才能检测到加速度。为此，该加速度计有测量不准、精确度不高等缺点。电容式加速度计例如美国专利号US6805008公开日为2004年10月19日的美国专利，电容式加速度计也包括悬臂梁及质量块。当有加速度时，外框架会向加速度方向运动，而由于惯性的作用，质量块的位移会很小，使得质量块与另一电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；其特征在于，所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置。

【技术特征摘要】
1.一种加速度计，包括测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片； 所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；其特征在于，所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁，所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置。2.如权利要求I所述的加速度计，其特征在于，所述弹性折叠梁的两末端位于同一直线上。3.如权利要求I所述的加速度计，其特征在于，所述质量块为矩形体，所述质量块的横截面为正方形。4.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞度立，于连忠，杨长春，
申请(专利权)人：中国科学院地质与地球物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：