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一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为...
该专利属于中国科学院地质与地球物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地质与地球物理研究所授权不得商用。

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