用于气动阀连续运行的电磁阀旁路系统技术方案

本发明专利技术提供了能够提供连续的加压惰性气体流从而无中断地操作加工工具的电磁阀组件。也提供了包含该电磁阀装置的系统。

【技术实现步骤摘要】
用于气动阀连续运行的电磁阀旁路系统相关申请的交叉引用本专利申请是2011年9月26日提交的美国专利申请序列号13/245，280的部分继续申请，其全部内容通过弓I用特此并入本文。
技术介绍
本专利技术一般涉及用于控制エ业エ艺系统的电磁阀操作的阀装置，尤其是涉及在操作阀的电子控制器不仅在经历停机时间而且从该阀物理移除时允许エ业エ艺气体连续流过该阀的系统。现代加工或制造エ厂包括了无数的操作部件。这些部件结合在一起以形成由包含传感器和控制器的仪表和控制系统控制的系统。在这种エ厂中的仪表和控制系统不仅用于控制各种部件的功能以为了获得希望的エ艺条件，而且为了避免不安全的情况或条件，他们也提供设施以安全地改变或中止全部或部分エ厂系统的操作。例如，在半导体制造エ厂中，通过由众多的阀和压力传感器组成的气体输送设备操作气体/化学试剂，使各输送系统由专用的エ艺控制系统(控制器)控制。加工输送设备为加工工具供应气体/化学试剂，其中晶片制造是通过气动操作的阀进行的。这些阀是由通过电磁阀操作的导阀连接到气动控制源上的气动致动器操作的。在操作中，当ー个或多个操作关联的电磁阀操作的阀以预定的方式改变状态或位置时，例如当电磁阀操作的阀被控制器断电时，这类系统的电磁管操作的阀用于启动流体或气动供应被提供给处理阀致动器或从处理阀致动器排出的过程。在硅晶片上最終逐层产生半导体器件需要多种不同的加工工具和涉及多种气体的输送的许多エ艺步骤。由于这ー过程可能需要花费几天或几个星期(这取决于半导体器件的复杂性)，加工工具优选24/7运转。这需要能支持加工工具以供应恒定的、不间断的气体或化学试剂流的气体输送设备。工具上未事先安排的气体/化学试剂的中断可能会导致エ艺步骤的失败，这可能使得在那个时间处于线上的硅晶片无用。这种硅晶片损失的资金价值可能是非常大的，经常编列数百万美元收入的损失。因此，当由于任何原因(包括故障和维护)而导致控制电磁阀断电时，需要ー种装置和方法以确保在制造过程中流入气动阀的连续加压气体流。专利技术概述本专利技术通过提供用于操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件满足了这ー需要，该组件包括供应加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电状态和断电状态，各电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通的内压カ端ロ(internal pressure port);当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ(internalactuator port);当所述电磁阀在处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ(internal relief port);所述多个电磁阀固定于其上的歧管,其中所述歧管流体内部连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ(external pressureport);和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端ロ(external relief port),其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压カ；以及用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀通电和断电的控制器装置。在另ー个方面，本专利技术提供了用于经由电磁阀组件连续操作向加工工具输送流体的气动阀的方法，所述电磁阀组件包括供应加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电和断电状态，各个电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通的内压カ端ロ ；当所述电磁阀处于通电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ ；和当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ ；所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中，所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ ；和所述多个电磁阀中的各电磁阀的专用外释放端ロ，其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电时，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压カ；以及用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀通电和断电的控制器装置，该方法包括如下步骤为所述歧管的至少ー个外压カ端口供应加压惰性气体；为至少一个所述电磁阀通电以使加压惰性气体流过所述至少ー个电磁阀的内压カ端ロ，通过该至少ー个电磁阀的外致动器端ロ(external actuator port)而到达相应气动阀；连接用于供应加压惰性气体的第二装置到所述歧管的至少ー个专用外释放端ロ ；为所述歧管的至少ー个专用外释放端口供应加压惰性气体；对供应加压惰性气体的所述第ニ装置经由所述专用外释放端ロ连接于其上的至少ー个通电的电磁阀断电；和将加压惰性气体通过所述外致动器端ロ从所述专用外释放端口供应到由所述断电的电磁阀操作的相应气动阀。在又ー个方面中，本专利技术提供了一种用于操作流体输送系统的多个气动阀并能够供应不间断的流体流的系统，该系统包括至少能够容纳至少ー个流体输送装置的流体系统外壳；固定在所述流体系统外壳上但可从所述流体系统外壳移除的控制器；固定在所述控制器并可与所述控制器分离的面板，该面板包括多个电磁阀，其中各电磁阀能够处于通电状态和断电状态，各电磁阀包括与供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压カ端ロ ；当所述电磁阀处于断电状态时与相应气动阀和与所述内压力端ロ流体连通的内致动器端ロ ；和当电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端ロ流体连通的内释放端ロ ；和所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连接到各电磁阀的各所述内压力端ロ、所述内致动器端口和所述内释放端ロ，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压カ端ロ流体连通的外压カ端ロ ；和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端ロ，其中所述专用外释放端ロ与相应电磁阀的内释放端ロ流体连通，以使得当电磁阀中的ー个断电时，供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端ロ并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力，其中所述控制器能够与所述面板分离地从所述流体系统外壳上移除而使得所述面板保持在所述流体系统外壳上。在随后的公开内容和所附的权利要求中，本 专利技术的其他方面、特征和实施方式将更加清楚。附图简要说明附图说明图1是现有技术的电磁阀组件的透视图。图2是本专利技术电磁阀组件的一个实施方式的透视图。图3是根据本专利技术的电磁阀组件的横截面视图，其中电磁阀处于通电状态。图4是图3所示的电磁阀组件的横截面视图，其中电磁阀处于断电状态。图5是本专利技术的系统的透视图。图6是本专利技术的系统的另一透视图。专利技术详述參考附图中给出的图形，在下文中详细描述本专利技术的说明性实施方式。为阐述清楚，附图中所示的类似特征使用类似的附图标记标明，且在附图中的可选实施方式中所示的类似的特征使用类似的附图标记标明。本专利技术涉及用于操作流体输送系统的多个气动阀并能够供应不间断的流体流的电磁阀组件。如本文所使用的，术语“不间断的”或“连续的”在涉及エ业加工工具设备的操作时是指该加工工具不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件，该组件包括：用于供应加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各个电磁阀能够处于通电状态和断电状态，各电磁阀包括：与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通内压力端口；当所述电磁阀处于通电状态时与相应的气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口；和当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口；所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管与各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口内部流体连接，并且其中所述歧管包括：与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口；和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的所述内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时，供应加压的惰性气体的第二装置可以连接所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力；和用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀断电和通电的控制器装置。

【技术特征摘要】
2011.09.26 US 13/245,280;2012.01.18 US 13/352,6431.一种操作流体输送系统的多个气动阀且能够供应不间断的流体流的电磁阀组件，该组件包括 用于供应加压惰性气体的第一装置； 多个电磁阀,其中各个电磁阀能够处于通电状态和断电状态,各电磁阀包括 与用于供应加压惰性气体的所述第一装置流体连通内压力端口； 当所述电磁阀处于通电状态时与相应的气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和 当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口； 所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管与各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口内部流体连接，并且其中所述歧管包括 与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和 所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的所述内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时，供应加压的惰性气体的第二装置可以连接所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力；和 用于对所述多个电磁阀中的各电磁阀断电和通电的控制器装置。2.一种用于经由电磁阀组件连续地操作向加工工具输送流体的气动阀的方法，该电磁阀组件包括提供加压惰性气体的第一装置；多个电磁阀，其中各个电磁阀能够处于断电和通电状态，各个电磁阀包括与用于供应加压惰性气体的第一装置流体连通的内压力端口 ；当所述电磁阀处于通电状态时与相应的气动阀和与所述内压力端口流体连通的内致动器端口 ；和当所述电磁阀处于断电状态时与所述内致动器端口流体连通的内释放端口 ；所述多个电磁阀固定于其上的歧管，其中所述歧管内部流体连通到各电磁阀的各所述内压力端口、所述内致动器端口和内释放端口，并且其中所述歧管包括与各电磁阀的各内压力端口流体连通的外压力端口 ；和所述多个电磁阀中各电磁阀的专用外释放端口，其中所述专用外释放端口与相应电磁阀的所述内释放端口流体连通，以使得当所述电磁阀中的一个断电时供应加压惰性气体的第二装置可以连接到所述外释放端口并为由该电磁阀操作的相应气动阀提供压力；和用于对所述多个电磁阀中各个通电和断电的控制器装置，该方法包括如下步骤 a)为所述歧管的至少一个外压力端口供应加压惰性气体； b)为至少一个所述电磁阀通电以使加压惰性气体流过该至少一个电磁阀的内压力端口，通过该至少一个电磁阀的外致动器端口而到达相应的气动阀； c)连接用于供应加压惰性气体的第二装置到所述歧管的至少一个专用外释放端口； d)为所述歧管的该至少一个专用的外释放端口供应所述加压惰性气体； e)对用于供应加压惰性气体的第二装置经由所述专用外释放端口连接于其上的该至少一个通电的电磁阀断电；和 f)通过外致动器端口从所述专用外释放端口将加压惰性气体供应到由所述断电的电磁阀控作的相应气动阀。3.权利要求2的方法，其中所述电磁阀组件还包括连接各电磁阀的所述外致动器...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·史密斯，J·C·巴索尔德，W·J·达克斯，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：