一种液氨的精确加入方法及所用装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液氨的精确加入方法及所用装置，步骤为：第一步，将液氨加入中间瓶中：抽真空读取此时中间瓶的净重W1；然后再将液氨罐中的液氨输入中间瓶中，直至中间瓶重量不再变化，将部分气化的液氨排入吸收桶中后，液氨罐中的液氨继续加入中间瓶中直至达到设定重量；第二步，液氨从中间瓶转移至反应釜：中间瓶顶部换作和氮气瓶以及真空泵连接，底部和反应釜连接，抽真空；打开中间瓶底部的第一阀门让液氨进入反应釜内直至中间瓶重量不再变化时，打开与氮气瓶，通过氮气将液氨压入反应釜内，直至中间瓶的重量接近中间瓶的净重W1。操作简单，液氨加入量精确，成本低，无污染。

【技术实现步骤摘要】

一种液氨的精确加入方法，属于电子材料制备
，特别涉及GaN晶体的制备中液氨的加入。
技术介绍
氨(NH3)在常温常压下为气体。氨的沸点为一33. 5°C，低于一77. 7°C可成为具有臭味的无色结晶。氨的临界温度为132. 4°C，低于此温度在适当压力即可液化。常温下，7 8个大气压即可将氨液化为液氨。液氨是无色液体，常用作非水溶剂和致冷剂，也是除了水以外最常用的无机溶剂。在GaN的氨热合成反应中，利用超临界状态的氨作为无机反应溶剂，涉及到液氨量的精确加入。 为了实现液氨的精确加入，通常需将氨冷却到一 34°C以下，同时采用液氮冷却反应容器，利用称量重量或体积来获得较精确的液氨量，从而实现液氨量的精确加入。但由于反应器需要降温至一 34°C以下，操作困难，且液氨易挥发特性导致计量不准确，此外，液氨气化对环境会造成一定的污染。
技术实现思路
为了解决现有技术存在的液氨易挥发，易污染的缺点，本专利技术提供了一种液氨的精确加入方法及所用装置，可以精确的计量加入的液氨。本专利技术的技术方案为一种液氨的精确加入方法，步骤为第一步，将液氨加入中间瓶中抽除液氨罐和中间瓶连接的管道内以及中间瓶内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液氨的精确加入方法，其特征在于，步骤为：第一步，将液氨加入中间瓶中：抽除液氨罐和中间瓶连接的管道内以及中间瓶内的空气，当气压≤5Pa时，关闭中间瓶底部第一阀门，读取此时中间瓶的净重W1；然后再同时开启液氨罐输出阀和中间瓶的底部阀门，将液氨罐中的液氨输入中间瓶中，直至中间瓶重量不再变化，打开中间瓶顶部第二阀门，将部分气化的液氨排入吸收桶中后，液氨罐中的液氨继续加入中间瓶中直至达到设定重量；关闭所有阀门；第二步，液氨从中间瓶转移至反应釜：中间瓶顶部换作和氮气瓶以及真空泵连接，底部和反应釜连接，将管道内以及反应釜内抽真空至气压≤5Pa；打开中间瓶底部第一阀门让液氨进入反应釜内直至中间瓶重量不再变...

【技术特征摘要】
1.一种液氨的精确加入方法，其特征在于，步骤为 第一步，将液氨加入中间瓶中抽除液氨罐和中间瓶连接的管道内以及中间瓶内的空气，当气压< 5Pa时，关闭中间瓶底部第一阀门，读取此时中间瓶的净重Wl ;然后再同时开启液氨罐输出阀和中间瓶的底部阀门，将液氨罐中的液氨输入中间瓶中，直至中间瓶重量不再变化，打开中间瓶顶部第二阀门，将部分气化的液氨排入吸收桶中后，液氨罐中的液氨继续加入中间瓶中直至达到设定重量；关闭所有阀门； 第二步，液氨从中间瓶转移至反应釜中间瓶顶部换作和氮气瓶以及真空泵连接，底部和反应釜连接，将管道内以及反应釜内抽真空至气压< 5Pa;打开中间瓶底部第一阀门让液氨进入反应釜内直至...

【专利技术属性】
技术研发人员：方峰，柯尊斌，邵起越，蒋建清，黄兴灯，王科，
申请(专利权)人：南京中锗科技股份有限公司，东南大学，
类型：发明
国别省市：