微细轴形成方法、利用该方法形成的微细轴及微细轴形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微细轴形成方法及微细轴形成装置，其不必学习现有的方法的高度的熟练技能，即可成形微细轴。本发明专利技术的微细轴形成装置具备：用于加工成微细轴的细长电极（１）；用于成形电极（１）的成形板（３）；使电极（１）以电极（１）的长度方向（１ａ）为中心旋转的电极旋转机构；为使电极（１）和成形板（３）之间产生电火花而向电极（１）及成形板（３）供电的电火花加工电源（５）；按照从成形板（３）的侧端面（３ａ）一侧横切成形板（３）的方式使通过电极旋转机构旋转的电极（１）移动的电极移动机构。在电极移动机构动作时，使用通过电火花加工电源（５）在电极（１）和成形板（３）之间产生的电火花在成形板（３）上形成槽（３ｂ）的同时成形电极（１），从而形成微细轴。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电火花加工中所使用的微细轴的形成方法及装置，更详细地 说，涉及采用了以板材作为对置电极，对扫描旋转的电极轴进行的电火花现 象的微细轴形成。
技术介绍
作为非接触加工的电火花加工方法，由于加工反作用力小，故其在使用 微细工具的微加工领域中发挥效果。用于微电火花加工的微细轴的成形方法，如图21所示，包括(l)反向电火花法；(2 )引线电火花研削法(Wire Electro Discharge Grinding法，下面称作WEDG法)；(3 )利用孔的电火花微细轴成 形法；(4)重复转印微电火花加工法；(5)利用锌电极的微细加工；(6)采 用了单电火花的微细电极的微细轴瞬间成形法等。这样成形的微细轴被用于微细形状及表面粗糙度的测定探针、显微操作 用工具、喷嘴孔等微细孔成形工序、微细模型用二维、三维微细形状制作工 具等。特别是由于反向电火花加工法为非接触加工，因此，加工反作用力小， 可容易地形成微细轴。另外，无需替换成形轴，即可以同一加工装置中成形 的轴作为工具来实施下一阶段的加工，因此其成为标准的加工工艺。专利文献1:日本特开2004-142087号公报WEDG法如图21中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微细轴的形成方法，其特征在于，包括如下工序：提供用于加工成所述微细轴的电极的工序；提供用于成形所述电极的成形材料的工序；使所述电极以所述电极的长度方向为中心旋转的电极旋转工序；为使所述电极和所述成形材料之间产生电火花而使用电火花加工电源向所述电极及所述成形材料供电的供电工序；按照从所述成形材料的侧端一侧横切所述成形材料的方式使通过所述电极旋转工序旋转的所述电极移动的电极移动工序；在所述电极移动工序中，使用通过所述电火花工序在所述电极和所述成形材料之间产生的电火花在所述成形材料上形成槽的同时成形所述电极，从而形成所述微细轴的微细轴形成工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛利尚武，谷贵幸，
申请(专利权)人：国立大学法人东京大学，国立大学法人筑波技术大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]