一种MEMS光学探头制造技术

技术编号:8496838 阅读:233 留言:0更新日期:2013-03-29 14:16
本实用新型专利技术公开了一种MEMS光学探头,包括外壳及其组装在其内部的底座、透镜组件、MEMS微镜和电路板,所述底座具有凹腔和斜面凹槽,所述电路板对应安装于底座凹腔和斜面凹槽上,在斜面凹槽上端的电路板上设置有焊盘,所述MEMS微镜安装在电路板对应焊盘上,所述透镜组件插入底座凹腔内,其内部安装有用于形成聚焦光束的聚焦透镜,用于向MEMS微镜发射聚焦光束,所述外壳前端窗口的台阶内安装有窗片,所述窗片与外壳的轴向方向相垂直或呈一定角度。使用该光学探头可实现前向扫描和侧前向扫描,配合内窥镜使用时,可实现对人体内脏器官和较隐蔽组织的扫描,解决了采用侧向扫描探头不易对人体内脏器官和较隐蔽组织区域进行扫描的问题。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种MEMS光学探头
本技术涉及一种内窥镜成像系统,更具体的,涉及一种MEMS光学扫描探头。 将MEMS微镜与OCT技术相结合可实现OCT内窥镜,米用MEMS微镜的光学扫描探头尺寸可以足够小,在人体内可实现前向扫描和侧前向扫描。
技术介绍
目前,医疗设备
在进行内窥镜成像系统开发过程中普遍采用的一种方法是将微机电系统技术(microelectromechanical systems,简称MEMS)的扫描微镜与光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography, OCT)技术相结合,开发出内窥镜成像系统。在美国专利技术专利说明书US7,450244中公开了一种MEMS — OCT内窥镜探头,该探头是国际上第一个MEMS - OCT内窥镜探头,是在2001年研发的,该内窥镜采用电热驱动的一维MEMS扫描微镜,成功展示了活体猪膀胱的二维截面OCT图像。在中国专利技术专利说明书 CN201110367454. 9中也公开了一种内窥镜微型光学探头,该光学探头也是采用MEMS微镜, 改变了探头基座的内部结构和零部件的组装方式,加工简单,有利于批量化和实现一次本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS光学探头,包括外壳(7)及其组装在其内部的底座(12)、透镜组件(11)、MEMS微镜(9)和电路板(10),其特征在于:所述底座(12)具有凹腔(121)和斜面凹槽(122),所述电路板(10)对应安装于底座凹腔(121)和斜面凹槽(122)上,在斜面凹槽(122)上端的电路板(10)上设置有焊盘(101),所述MEMS微镜(9)安装在电路板(10)对应焊盘上,所述透镜组件(11)插入底座(12)凹腔(121)内,其内部安装有用于形成聚焦光束的聚焦透镜(111),用于向MEMS微镜(9)发射聚焦光束,所述外壳(7)前端窗口(8)的台阶内安装有窗片(13),所述窗片(13)与外壳(...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS光学探头,包括外壳(7)及其组装在其内部的底座(12)、透镜组件(11)、 MEMS微镜(9)和电路板(10),其特征在于所述底座(12)具有凹腔(121)和斜面凹槽 (122),所述电路板(10)对应安装于底座凹腔(121)和斜面凹槽(122)上,在斜面凹槽(122) 上端的电路板(10)上设置有焊盘(101),所述MEMS微镜(9)安装在电路板(10)对应焊盘上,所述透镜组件(11)插入底座(12)凹腔(121)内,其内部安装有用于形成聚焦光束的聚焦透镜(111),用于向MEMS微镜(9)发射聚焦光束,所述外壳(7)前端窗口(8)的台阶内安装有窗片(13),所述窗片(13)与外壳(7)的轴向方向相垂直或呈一定角度。2.根据权利要求1所述的MEMS光学探头,其特征在于所述窗片(13)形状为平面或曲面,该窗片(13)采用玻璃或由其它对所用光透明的材料制作而成,并在表面选择性地设置光学增透涂层。3.根据权利要求1所述的MEMS光学探头,其特征在于所述电路板(10)还包括连接电路板(10)与外部电路的电连接端(2),所述电连接端(2)位于底座凹腔(121)的左侧尾部, 用于传输外部电路与MEMS微镜(9)之间的信号。4.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS光学探头,其特征在于所述透镜组件(11) 内的聚焦透镜(111)具有从30°到70°之间某一特定角度的倒角,具有该倒角角度的聚焦透镜(111)可以改变聚焦光束的出射方向,从聚焦透镜(111)发射出来的聚焦光束直接入射到MEMS微镜(9)。5.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS光学探头...

【专利技术属性】
技术研发人员:傅霖来周正伟王东琳谢会开
申请(专利权)人:无锡微奥科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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