下载一种MEMS光学探头的技术资料

文档序号:8496838

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本实用新型公开了一种MEMS光学探头,包括外壳及其组装在其内部的底座、透镜组件、MEMS微镜和电路板,所述底座具有凹腔和斜面凹槽,所述电路板对应安装于底座凹腔和斜面凹槽上,在斜面凹槽上端的电路板上设置有焊盘,所述MEMS微镜安装在电路板对应...
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