包含阻挡件的气刀腔制造技术

本发明专利技术公开了一种被构造为允许沿着隔断墙向下流的水在裂缝前方落下的气刀腔。由于这种构造，使得能够通过气刀有效地去除水，从而有助于降低基板的缺陷比例。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包含阻挡件的气刀腔
本公开涉及一种气刀腔，更具体而言，涉及一种被构造为允许沿着隔断墙向下流的水(或清洗液)在隔断墙(或裂缝)前方落下的气刀腔，使得能够通过气刀有效地去除水， 并最终导致降低了基板的缺陷比例。
技术介绍
一般来说，使液晶显示器(IXD)、等离子显示板(PDP)等的玻璃基板受到湿式(清洗)工艺，在该工艺中，供应例如纯水的清洗液来处理玻璃基板。清洗工艺之后，使基板经受额外的工艺，以去除附着在基板表面的残留清洗液。这种额外的工艺包括清洗液处理和干燥。图1中示出了用于清洗液处理的工艺。参考图1，在将基板I通过进入口 11输送到密闭的腔体10后，将来自气刀14的高压空气或高压惰性气体喷射到移动的基板I上，以去除例如水(或清洗液)的杂质。将已去除杂质的基板I通过排出口 12排出到外部。附着在基板I上的例如水(或清洗液)的杂质被高压空气或高压惰性气体吹走。将被吹走的水(或清洗液)粒子通过排出口 13排出到外部。从气刀14释放出的大量空气或惰性气体在腔体10内部产生复杂的气流。这种空气流造成部分水(或清洗液)粒子附着在隔断墙16上。附着在隔断墙16上的水(或清洗液)沿着隔断墙16向下流本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.07.14 KR 10-2010-0067948;2011.07.14 KR 10-2011.一种气刀腔，包括 腔体，该腔体具有使基板进入的进入口和使所述基板排出的排出口； 隔断墙，该隔断墙在所述腔体内部被设置在所述进入口与所述排出口之间，以将所述腔体的内部空间划分为与所述进入口连通的前部和与所述排出口连通的后部，并且该隔断墙具有能够使所述基板通过的裂缝； 阻挡件，该阻挡件被设置在所述隔断墙上位于所述裂缝的上方；以及 气刀，该气刀适于喷射高压气体，以去除所述基板中存在的水， 其中，所述阻挡件防止沿着所述隔断墙向下流的水落在所述基板上。2.根据权利要求1所述的气刀腔，其中，所述隔断墙、所述阻挡件以及所述气刀相对于所述基板的移动方向倾斜地设置。3.根据权利要求1或2所述的气刀腔，其中，所述气刀被...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴寿赞，林艺勋，闵庚勋，
申请(专利权)人：LG化学株式会社，
类型：
国别省市：