滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器以及修复装置。具体地，对于在着色层的边界部分具有将相邻的着色层的端缘部分相互层叠的隔壁等的突起状构造物的滤色片，可以通过触头的扫描，来对超越突起状构造物高度的突起缺陷进行高精度地测量。因此，将触头（304a）、（504a）的棱线（304b）、（504b）设定成相对于扫描方向呈45度交叉的方向，且将棱线（304b）、（504b）的长度设定成棱线（304b）、（504b）同时搁于在扫描方向上相间隔的两个隔壁（105）（突起状构造物）上的长度（L）。由此，触头（304a）、（504a）在扫描中不会落入隔壁（105）之间的着色层（101）～（103）上，一边与隔壁（105）的顶点接触一边扫描，将隔壁（105）的顶点作为基准高度，对超过该基准高度（H2）的高度突起缺陷（FA）进行测量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过利用触头对滤色片表面进行扫描来对滤色片上的突起缺陷的高度进行测量的突起缺陷高度测量仪器、以及具备该突起缺陷高度测量仪器的滤色片的修复装置。
技术介绍
以往，作为利用触头进行扫描来对基板上的突起缺陷(异物和毛刺等)的高度进行测量的测量仪器，例如有专利文献I所公开那样的、将触头的顶端形状设为具有与扫描方向正交的平坦的直线部分的形状的测量仪器。现有技术文献专利文献专利文献I日本特开平10 — 068618号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题不过，在液晶面板的滤色片上，或者在相邻的黑色矩阵上层叠有着色层的端缘，或者在端缘部上相互层叠有着色层和相邻的別的着色层，或者在着色层之间设有比着色层更高的黑色矩阵，从而存在在着色层的边界部分形成比该着色层更高的突起状构造物。在对具有这种突起状构造物的滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，对突起缺陷进行研磨的情况下，超过突起状构造物的高度的突起缺陷成为研磨对象，对于突起缺陷的高度测量，希望以突起状构造物的高度为基准，将超过它的高度的突起缺陷作为测量对象。但是，在现有的突起缺陷高度测量仪器中，触头的顶端在扫描过程中落入比突起状构造物更低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.07.20 JP 2010-1631961.一种滤色片的突起缺陷高度测量仪器，所述滤色片在着色层的边界部分具有比该着色层的高度更高的突起状构造物，利用触头对滤色片表面进行扫描来对所述滤色片上的突起缺陷的高度进行测量，其特征在于， 所述触头的顶端形状设为同时搁于在该触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的形状。2.根据权利要求1所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，所述触头的顶端形状设为如下的形状，即具有相对于所述滤色片平行的棱线，且所述棱线相对于所述触头的扫描方向倾斜交叉的同时，具有同时搁于在所述触头的扫描方向上相间隔的两个所述突起状构造物上的长度的形状。3.根据权利要求2所述的滤色片的突起缺陷高度测量仪器，其特征在于，相对于所述棱线的扫描方向的交叉角度设定为45度附近。4.根据权利要求2所述的滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：大渊一人，小桧山真广，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：
国别省市：