【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及包含不饱和碳氟醚的组合物以及它们作为热传递组合物的用途。_4] 相关领域说明 本专利技术提供了包含不饱和氟碳醚的新型组合物以及制造此类不饱和氟碳醚的方法。这些组合物在许多先前由CFC化合物所担任的应用中具有实用性。本专利技术的组合物具有一些或所有的下列理想特性对环境几乎没有或没有影响,溶解油、油脂或润滑剂(具体地为含氟润滑剂)的能力,非易燃,以及溶解用于干燥或脱水方法中的表面活性剂化合物的能力。目前,许多流体用于热传递。热传递流体的适宜性取决于应用过程。例如,一些电子应用需要惰性、具有高介电强度、具有低毒性、良好的环境特性、以及广泛温度范围内良好的热传递特性的热传递流体。其它应用需要精确温控,并且因此需要热传递流体在整个工艺温度范围内为单相,并且需要热传递流体特性是可预测的,即组成保持相对恒定,使得粘度、沸点等可预测,使得可保持精确的温度并且使得可适当地进行设备设计。在半导体工业中,有许多装置或工艺需要具有所选特性的热传递流体。热传递流体可用于除热,加热,或保持温度。下文所述的每种半导体工艺包括需要从其移除热量或向其加入热量的装置或工件。与除热 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.07.09 US 61/362,8331.传递热的方法,包括a.提供装置;以及b.使用热传递流体将热量传递到所述装置或将热量从所述装置中传递出来,其中所述热传递流体包含至少一种不饱和氟代醚,所述氟代醚具有式CF3 (CF2)xCF = CFCF(OR) (CF2) yCF3、CF3 (CF2)xC(OR) = CFCF2(CF2)yCF3' CF3CF = CFCF(OR) (CF2)x(CF2)yCF3' CF3 (CF2)xCF = C (OR) CF2 (CF2)yCF3、或它们的混合物,其中R可以为CH3X2H5或它们的混合物,并且其中x和 y独立地为0、1、2或3,并且其中x+y = 0、1、2或3。2.根据权利要求1所述的方法,其中所述不饱和氟代醚包含具有式CF3(CF2)xCF= CFCF (OR) (CF2) yCF3的化合物,其中R为CH3或C2H5或它们的混合物,并且其中x和y独立地为0、1、2或3,并且其中x+y = 0、1、2或3。3.根据权利要求2所述的方法,还包括具有式CF3(CF2)xC(OR)= CFCF2(CF2)yCF3的化合物,其中R为CH3或C2H5或它们的混合物,并且其中X和y独立地为0、1、2或3,并且其中 x+y = O、1、2 或 3。4.根据权利要求1所述的方法,其中所述不饱和氟代醚包含具有式CF3(CF2)xC(OR)= CFCF2(CF2)yCF3的化合物,其中R为CH3或C2H5或它们的混合物,并且其中x和y独立地为0、1、2或3,并且其中x+y = 0、1、2或3。5.根据权利要求1所述的方法,其中所述不饱和氟代醚包含具有式CF3CF= CFCF(OR) (CF2)x(CF2)yCF3的化合物...
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