一种优化CDSEM跑货顺序的方法技术

一种优化CDSEM跑货顺序的方法，包括：步骤S1：导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统；步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序。本发明专利技术所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了CDSEM量测机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件
，尤其涉及一种优化CDSEM跑货顺序的方法。
技术介绍
目前，在半导体器件制造中，采用关键尺寸扫描电子显微镜(Critical DimensionElectronic Microscope, (DSEM)测量制作在晶片上的图案的关键尺寸(CriticalDimension, CD)。随着半导体技术的发展,半导体器件的关键尺寸越来越小。为保证光刻或刻蚀后晶片上图案的准确性，经过曝光显影将光罩上的图案转移到晶片上以后，带有图案的晶片会放置在CDSEM机台，由CDSEM控制系统控制CDSEM机台测量光刻后图案的关键尺寸，CDSEM机台将得到的图案之关键尺寸反馈给CDSEM控制系统，以确定图案的关键尺寸是否符合大规模集成电路(Integrated Circuit, IC)设计要求,从而了解光刻或者刻蚀的准 确性。但是，目前⑶SEM系统造价昂贵，成本过高，而半导体公司所购置的有限数量CDSEM利用率较低，不能满足实际生产与研发需求。如何合理的安排CDSEM系统的跑货顺序，将关系到CDSEM机台的利用率及高等级批量跑货进度。故，如何合理有效地优化CDSEM机台跑货顺序成为本领域的重要研究课题之一。故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本专利技术一种优化CDSEM跑货顺序的方法。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中，传统的CDSEM系统造价昂贵，成本过高，而半导体公司所购置的有限数量CDSEM利用率较低，不能满足实际生产与研发需求等缺陷提供一种优化⑶SEM跑货顺序的方法。为了解决上述问题，本专利技术提供一种优化CDSEM跑货顺序的方法，所述方法包括执行步骤S1:利用⑶SEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer ；执行步骤S2:计算单点制程时间Tptjint ;通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafw，并依据公式Tp-，计算所述单点制程时间Tptjint ; pomt执行步骤S3 :将所述单点制程时间Tptjint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量；执行步骤S4:计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式Twait — TrecipelpointX Lotl X Nlpoint + Trecipe2pointXLot2 X N2point+...+1；__^1^1^他_，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait ；执行步骤S5 :所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait,以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。可选地，所述CDSEM测量处方浏览器软件为CDSEM recipe viewer softwareversion 7. 30以上的版本。可选地，所述⑶SEM机台上安排量测的第一批晶圆的单点测量时间Traipelptjint为O. 8s，待量测点数量为36个；在所述CDSEM机台上安排量测的第二批晶圆的单点测量时间Trecipe2point为O. 9s，待量测点数量为18个；所述第三批晶圆需要等待的时间为Twait3 Twait3 = Trecipelpoint X Lot I X Nlpoint+Trecipe2point X Lot2 X N2point = O. 8 X 36+0. 9 X 18 =45s。综上所述，本专利技术所述的优化CDSEM跑货顺序的方法实现了 CDSEM机台等待时间的量化，并结合所述自动派货系统记录的批量产品的优先等级顺序、测量点数量等相关信息，优化所述CDSEM量测机台的跑货顺序，不仅提高了所述CDSEM量测机台的利用率，而且减少了高等级批量产品在所述CDSEM测量站点的等待时间，极大的改善了生产效率。附图说明图1所示为本专利技术优化CDSEM跑货顺序的方法的流程图；图2所示为本专利技术已完成跑货批量产品之制程时间Twate的图谱。具体实施例方式为详细说明本专利技术创造的
技术实现思路
、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。请参阅图1，图1所示为本专利技术一种优化CDSEM跑货顺序的方法的流程图。所述优化⑶SEM跑货顺序的方法，包括以下步骤执行步骤S1:利用⑶SEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间 Tirafer ；执行步骤S2 :计算单点制程时间Tptjint ;具体地，通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间TwafOT，并依据公式权利要求1.一种优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述方法包括 执行步骤S1:利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间T ·wafer * 执行步骤S2 :计算单点制程时间Tptjint ;通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twate，并依据公式=~^ 4十poml算所述单点制程时间Tptjint ； 执行步骤S3 :将所述单点制程时间Tptjint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量； 执行步骤S4 :计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait,所述自动派货系统通过公式TWait — TrecipelpointX Lot I X Nlpoint + Trecipe2pointX L ο t 2 X N2point+...+1；__^1^1^他_，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait ； 执行步骤S5 :所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait,以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。2.如权利要求1所述的优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述CDSEM测量处方浏览器软件为 CDSEM recipe viewer software version 7. 30 以上的版本。3.如权利要求2所述的优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述CDSEM机台上安排量测的第一批晶圆的单点测量时间Traipelptjint为O. 8s，待量测点数量为36个；在所述⑶SEM机台上安排量测的第二批晶圆的单点测量时间T_ipe2p()int为O. 9s，待量测点数量为18个；所述第三批晶圆需要等待的时间为Twait3 T\vait3 r^recipelpoint X Lot I XNlpoint+Trecipe2point X Lot2 X N2point = 0. 8 X 36+0. 9 X 18 = 45s。全文摘要一种优化CDSEM跑货顺序的方法，包括步骤S1导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；步骤S2计算单点制程时间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种优化CDSEM跑货顺序的方法，其特征在于，所述方法包括：执行步骤S1：利用CDSEM测量处方浏览器软件导出已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer；执行步骤S2：计算单点制程时间Tpoint；通过量测程式的设定，并结合所述CDSEM测量处方浏览器软件导出的已完成跑货的批量产品之制程时间Twafer，并依据公式计算所述单点制程时间Tpoint；执行步骤S3：将所述单点制程时间Tpoint导入自动派货系统，所述自动派货系统可导入所述CDSEM测量处方浏览器软件输出的数据并进行计算，同时所述自动派货系统可对相关信息进行记录，所述相关信息包括批量产品的优先等级顺序、测量点数量；执行步骤S4：计算所述CDSEM量测机台的等待时间Twait，所述自动派货系统通过公式：Twait＝Trecipe1point×Lot1×N1point+Trecipe2point×Lot2×N2point+…+Trecipenpoint×Lotn×Nnpoint，获得所述CDSEM量测机台的等待时间Twait；执行步骤S5：所述自动派货系统根据步骤S4所获得的等待时间Twait，以及所述自动派货系统所记录的批量产品的优先等级顺序安排所述CDSEM量测机台的跑货顺序。FDA00002484071800011.jpg...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏婷婷，朱骏，马兰涛，张旭升，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：