微型液体颗粒计数器芯片制造技术

本发明专利技术涉及一种微型液体颗粒计数器芯片，包括芯片本体，芯片本体中设置有光学检测系统以及光刻形成的液体微流通道；液体微流通道的两端与芯片本体的外部相连通并通入有待测液体；光学检测系统包括光刻形成的入射端微透镜组、出射端微透镜组、入射端光纤固定槽、出射端光纤固定槽以及固设于入射端光纤固定槽中的入射光纤、固设于出射端光纤固定槽中的出射光纤；入射端微透镜组和出射端微透镜组相对的设置于液体微流通道的两侧；入射端光纤固定槽设置于入射端微透镜组的远离液体微流通道的一侧，出射端光纤固定槽设置于出射端微透镜组的远离液体微流通道的一侧。本发明专利技术提高了液体颗粒计数器加工的精度，降低了加工难度，降低了制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测量液体中的微小颗粒的大小和数量的仪器，具体地说，涉及一种用于测量液体中的微小颗粒的大小和数量的激光微型液体颗粒计数器芯片。
技术介绍
液体颗粒计数器用于检测液体中的微小固体颗粒污染物，它在医药、水质分析、油液清洁度检测、半导体工艺控制等领域有着重要的应用。光阻法激光液体颗粒计数器根据光散射理论，利用微小粒子对光的散射和阻挡实现对粒子计数和测量。对于传统的液体颗粒计数器，其结构如附图1所示。半导体激光器101发出的光经过透镜组102的汇聚，在液体样品池103的检测区域形成一细小线光束，线光束透过样品池103之后传输到光电探测器106的表面。待测液体104通过液体样品池103的液体微流通道108而流经液体样品池103的检测区域。当待测液体104中的微小颗粒105通过检测区域的时候，由于粒子对光的散射和阻挡，使得光电探测器106接收到的光信号减弱，形成一个负脉冲信号107，负脉冲信号107的幅度与粒子的大小成比例。因此，通过脉冲信号的个数和幅度就可以测量出被测液体中微小颗粒物的个数和大小。传统的液体颗粒计数器，其各个部件是通过机械的方式装配在一起的，为了确保检测光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型液体颗粒计数器芯片，用于测量待测液体中微小颗粒的大小和数量，其特征在于：其包括芯片本体，所述的芯片本体中设置有光学检测系统以及光刻形成的液体微流通道；所述的液体微流通道的两端与所述的芯片本体的外部相连通并通入有所述的待测液体；所述的光学检测系统包括光刻形成的入射端微透镜组、出射端微透镜组、入射端光纤固定槽、出射端光纤固定槽以及固设于所述的入射端光纤固定槽中的入射光纤、固设于所述的出射端光纤固定槽中的出射光纤；所述的入射端微透镜组和所述的出射端微透镜组相对的设置于所述的液体微流通道的两侧；所述的入射端光纤固定槽设置于所述的入射端微透镜组的远离所述的液体微流通道的一侧，所述的出射端光纤固定...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙吉勇，梁凤飞，沈玮栋，周大农，唐红阳，
申请(专利权)人：江苏苏净集团有限公司，
类型：发明
国别省市：