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微型液体颗粒计数器芯片制造技术
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文档序号:8488548
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本发明涉及一种微型液体颗粒计数器芯片,包括芯片本体,芯片本体中设置有光学检测系统以及光刻形成的液体微流通道;液体微流通道的两端与芯片本体的外部相连通并通入有待测液体;光学检测系统包括光刻形成的入射端微透镜组、出射端微透镜组、入射端光纤固定槽...
该专利属于江苏苏净集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏苏净集团有限公司授权不得商用。
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