【技术实现步骤摘要】
本技术属于液体的颗粒物检测领域,具体涉及检测液体中颗粒物数量和大小的装置。
技术介绍
目前,用于检测液体中的微小颗粒污染物的主要设备是液体颗粒计数器。它在半导体工艺过程控制中有着重要的应用,比如用于检测超纯水或者化学试剂的洁净程度。其测量的最小微粒粒径为50纳米,甚至更小。光散射法是目前液体颗粒计数器所采用的主要检测方法。当一束光照射到微粒的时候会发生散射,散射光可以分为前向散射光和侧向散射光。前向散射光是指光轴与照射光的光轴平行的散射光。侧向散射光是指光轴与照射光的光轴垂直的散射光。目前的液体颗粒计数器有的采用前向散射光作为检测信号,有的采用侧向散射光作为信号。无论是采用前向散射光作为检测信号,还是采用侧向散射光作为检测信号,都只是采用了部分散射光。由于微粒产生的散射光本身就很弱小,只采用部分散射光作为检测信号更增加小粒径微粒的检测难度。所以,现有的液体颗粒计数器大多能够接受的散射光范围有限,检测的灵敏度较低,检测的精度也是非常有限。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种光信号处理能力强、检测灵敏度高的液体颗粒检测装置。为了解决上述技术问题,本技术采用的一种技术方案是:一种液体颗粒检测装置,包括光源单元、液体流通单元、散射光光信号收集单元和光信号处理单元。所述液体流通单元包括流通池,所述流通池上开设有供液体流通的通道。所述光源单元能够形成入射光束,所述流通池设置在入射光束的传播路径上,所述入射光束能够穿过流通池继续传播。所述散射光光信号收集单元包括分别设置在流通池前部的前透镜、流通池左侧的左透镜、流通池右侧的右透镜以及光纤耦合器,所述光纤耦合器与光信 ...
【技术保护点】
一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述液体颗粒检测装置包括光源单元、液体流通单元、散射光光信号收集单元和光信号处理单元,所述液体流通单元包括流通池(4),所述流通池(4)上开设有供液体流通的通道(41),所述光源单元能够形成入射光束(101),所述流通池(4)设置在入射光束(101)的传播路径上,所述入射光束(101)能够穿过流通池(4)继续传播,所述散射光光信号收集单元包括分别设置在流通池(4)前部的前透镜(5)、流通池(4)左侧的左透镜(6)、流通池(4)右侧的右透镜(7)以及光纤耦合器(8),所述光纤耦合器(8)与光信号处理单元相连,所述入射光束(101)射入流通池(4)内照射在通道(41)处并能够经所述通道(41)内的液体中的颗粒散射形成散射光束(102)穿出流通池(4)继续传播,所述前透镜(5)、左透镜(6)、右透镜(7)能够分别汇聚自流通池(4)前部、左侧和右侧穿出的散射光并传输给光纤耦合器(8),所述光纤耦合器(8)将光信号传输给光信号处理单元,所述光信号处理单元能够将光信号处理后获得流经所述通道(41)的液体中的颗粒数量和大小的数据。
【技术特征摘要】
1.一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述液体颗粒检测装置包括光源单元、液体流通单元、散射光光信号收集单元和光信号处理单元,所述液体流通单元包括流通池(4),所述流通池(4)上开设有供液体流通的通道(41),所述光源单元能够形成入射光束(101),所述流通池(4)设置在入射光束(101)的传播路径上,所述入射光束(101)能够穿过流通池(4)继续传播,所述散射光光信号收集单元包括分别设置在流通池(4)前部的前透镜(5)、流通池(4)左侧的左透镜(6)、流通池(4)右侧的右透镜(7)以及光纤耦合器(8),所述光纤耦合器(8)与光信号处理单元相连,所述入射光束(101)射入流通池(4)内照射在通道(41)处并能够经所述通道(41)内的液体中的颗粒散射形成散射光束(102)穿出流通池(4)继续传播,所述前透镜(5)、左透镜(6)、右透镜(7)能够分别汇聚自流通池(4)前部、左侧和右侧穿出的散射光并传输给光纤耦合器(8),所述光纤耦合器(8)将光信号传输给光信号处理单元,所述光信号处理单元能够将光信号处理后获得流经所述通道(41)的液体中的颗粒数量和大小的数据。2.根据权利要求1所述的一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述光源单元包括能够产生激光光束的半导体激光器(1)、准直透镜(2)和第一会聚透镜(3),所述准直透镜(2)和第一会聚透镜(3)沿半导体激光器(1)出射的激光光束的传播方向依次设置。3.根据权利要求2所述的一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述准直透镜(2)的光轴和第一会聚透镜(3)的光轴均与激光光束的光轴重合。4.根据权利要求1所述的一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述流通池(4)呈长方体型,所述通道(41)为流通池(4)从上往下开设的通孔。5.根据权利要求4所述的一种液体颗粒检测装置,其特征在于:所述液体流通单元还包括前平凸透镜(9)、左平凸透镜(10)和右平凸透镜(11),所述前平凸透镜(9)贴合设置在流通池(4)的前侧面,所述左平凸透镜(10)贴合设置在流通池(...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙吉勇,梁凤飞,戴圣洋,金惠琴,
申请(专利权)人:江苏苏净集团有限公司,苏州苏净仪器自控设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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