一种极远紫外探测器校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种极远紫外探测器校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。探测器单元包括标准探测器和待测探测器。利用本发明专利技术可以实现在30nm～200nm范围内探测器相对光谱响应度校准。本发明专利技术提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种极远紫外探测器校准装置，属于光学测试

技术介绍
紫外波段按照能否在大气中进行传播，广义上分为真空紫外波段(IOnm 200nm)和非真空紫外波段(200nm 400nm)。200nm以下的紫外波段在空气中会被强烈吸收，所以欲进行真空波段的光学计量，必须采用真空仓，以产生真空紫外波段计量测试的环境。在真空紫外波段又细分为远紫外(80nm 200nm)和极紫外波段(IOnm 80nm)，两个波段划分界限比较模糊。本专利技术所涉及到的极紫外和远紫外辐射校准标准装置覆盖30nm 200nm波段。极紫外和远紫外(简称极远紫外)波段的辐射特性不同于可见光和红外波段，它在空间探测领域具有不可替代的优势，随着探月工程、深空探测计划、以及火星探测等计划的相续发展，受到越来越多的关注。极紫外和远紫外的最高辐射标准为同步辐射，但是同步辐射整个系统比较复杂，运行困难，接口较少，针对极远紫外光学载荷，它的测试过程相对繁多，使用同步辐射就多有不便。美国军方的紫外校准试验室建在美国海军试验室，但主要是为美空军的侦察卫星中的紫外探测仪器进行校准。美国海军试验室建立了一套极紫外和远紫外校本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种极远紫外探测器校准装置，其特征在于包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元和探测器单元；所述汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜(4)，其位于汇聚摆镜真空仓(3)内，所述汇聚摆镜(4)包括摆镜和旋转位移平台，所述摆镜包括两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，所述凹面反射镜曲面半径范围为50mm～5000mm，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200hm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60hm～200hm反射膜；所述探测器单元包括一电动旋转平台(12)，其上有若干个均匀分布的工位，标准探测器(9)和待测探测器(10)放置于工位上；所述光源发射出的光线射入所述汇聚摆镜真空仓(3)，经所述汇...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王加朋，孙红胜，宋春晖，张玉国，李世伟，张虎，任小婉，
申请(专利权)人：北京振兴计量测试研究所，
类型：发明
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