【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种极远紫外光源校准装置，属于光学测试
技术介绍
紫外波段按照能否在大气中进行传播，广义上分为真空紫外波段(IOnm 200nm)和非真空紫外波段(200nm 400nm)。200nm以下的紫外波段在空气中会被强烈吸收，所以欲进行真空波段的光学计量，必须采用真空仓，以产生真空紫外波段计量测试的环境。在真空紫外波段又细分为远紫外(80nm 200nm)和极紫外波段(IOnm 80nm)，两个波段划分界限比较模糊。本专利技术所涉及到的极紫外和远紫外辐射校准标准装置覆盖30nm 200nm波段。极紫外和远紫外(简称极远紫外)波段的辐射特性不同于可见光和红外波段，它在空间探测领域具有不可替代的优势，随着探月工程、深空探测计划、以及火星探测等计划的相续发展，受到越来越多的关注。极紫外和远紫外的最高辐射标准为同步辐射，但是同步辐射整个系统比较复杂，运行困难，接口较少，针对极远紫外光学载荷，它的测试过程相对繁多，使用同步辐射就多有不便。美国军方的紫外校准试验室建在美国海军试验室，但主要是为美空军的侦察卫星中的紫外探测仪器进行校准。美国海军试验室建立了一...
【技术保护点】
一种极远紫外光源校准装置，其特征在于包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元和探测器单元；所述光源包括标准极远紫外光源(1)和待测极远紫外光源(2)；所述汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜(4)，其位于汇聚摆镜真空仓(3)内，所述汇聚摆镜(4)包括摆镜和旋转位移平台，所述摆镜包括两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，所述凹面反射镜曲面半径范围为50mm～5000mm，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜；所述光源发射出的光线射入所述汇聚摆镜真空仓(3)，经所述汇聚摆镜(4)反射后射入所述紫外单色仪单元，...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王加朋，孙红胜，宋春晖，张玉国，李世伟，魏建强，孙广尉，
申请(专利权)人：北京振兴计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：
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