一种极紫外光源性能参数的测量系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种极紫外光源性能参数测量系统，具体涉及一种使用旋转调节结构实现极紫外光源性能参数的快速测量系统，属于极紫外光学测量领域。
技术介绍
极紫外光源作为极紫外技术研究领域中的关键设备，其性能参数的测量是一个必须的关键工作。与激光器性能参数的测量不同，激光器发出的激光可在大气环境中传播，因此可在大气环境下快速完成测量设备安装、更换、参数测试。且可通过使用分束镜对待测激光进行分光、同时完成各个性能参数的测试，如专利CN101782435B中所述。而极紫外波段的光在大气环境下几乎全部被吸收，因此极紫外光源性能参数的测量需要在真空环境下进行。且没有极紫外波段的分束镜对光进行分束，所以通常在极紫外光源研制过程中，对光源的带内的能量、光斑、脉宽、脉冲稳定性等参数的测量方法，是依次将极紫外能量计、光斑测量仪、脉宽测量仪等仪器装置安装在极紫外光源出光口处，从而进行对应参数的测量。由于每次更换出光口的测量设备，都需要将光源停止运行、拆下已经安装的测量设备，才能安装新的测量设备、开始新参数的测量，这个过程需要破坏现有的真空系统，而重新建立真空系统、启动极紫外光源耗时较长，影响光源的参数测量效率。另一方面，极紫外光源每次重新启动后，会因为工作气体Xe气、缓冲气体Ar气的稍微不同，输出的性能参数存在差异，导致不同参数间测试的工作状态不同。
技术实现思路
有鉴于此，为解决现有技术中多次破坏真空环境、多次更换安装测量设备、每次测量工作条件不同的问题，为了在同一工作状态下、快速的完成各个性能参数测量，提高测量效率以及测量准确性，本技术提出了一种快速测量极紫外光源性能参数的系统。并以测量极紫外光源的13.5nm±2％波长带宽内的性能参数为实施例，对该种测量系统加以说明。根据本技术一方面，其提供了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室，其中设置有光辐照源，用于辐射光；反射镜腔室，其中设置有反射镜，用于将所述光送入测量腔室；测量腔室，其中设置有旋转调节装置；其中，所述EUV光源腔室、反射镜腔室和测量腔室配置有一套抽气泵组以及相应量程的真空计；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内；所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，其为中空结构，一端固定于所述旋转圆盘，并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上；其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转；所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。其中，所述旋转转盘的支撑调节结构还包括：第一调节旋钮，其与所述第一调节杆连为一体，为中空结构，且位于所述测量腔室外部；第二调节旋钮，其与所述第二调节杆连为一体，且位于所述第一调节旋钮后方。其中，所述旋转圆盘包括多个通光孔，且所述多个通光孔中心位于同一个同心圆上。其中，所述前置部件装载结构上可安装一种或多种前置部件。其中，所述前置部件装载结构中间具有通光孔，通光孔后方为装载槽，所述装载槽内具有螺纹面，前置部件放置于所述装载槽后，通过圆环固定，所述圆环外部为螺纹面，与所述装载槽内的螺纹面相配合。其中，所述反射镜腔室内设置有第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜，所述第一多层膜反射镜为平面反射镜，用于反射入射光，所述第二多层膜反射镜为用于聚焦的球面反射镜，用于反射从所述第一多层膜反射镜反射出的光；所述第一多层膜反射镜以使光入射角小于45度的角度设置，所述第二多层膜反射镜以使所述第一多层膜反射镜反射出的光平行出射出去的角度设置。其中，所述第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜均为镀有Mo/Si多层膜的反射镜。其中，所述EUV光源腔室与反射镜腔室之间具有第一通路，所述反射镜腔室与测量腔室之间具有第二通路；所述第一通路沿光路方向设置有开关快门、波纹管和限光光阑调节部件；所述第二通路上设置有极紫外滤光片。其中，所述第一调节旋钮与所述接口法兰通过带波纹管的中空管连接。与以往的测量方法相比，本技术提出的将测量设备关键部件(如探测器等)安装在旋转调节结构上、且共用多层膜反射镜模块的测量系统，有以下优点：避免为了测量不同性能参数，而多次停止/启动极紫外光源、拆装测量设备、破坏真空环境、改变光源工作状态，本测量系统可实现在极紫外光源的同一工作状态下快速测量其各性能参数。提高测量效率和准确性，且结构简单，安装方便，容易操作。附图说明图1为本技术中极紫外光源带内性能参数的测量系统的结构示意图；图2a为本技术中旋转调节装置正视图；图2b为本技术中旋转调节装置中轴剖面图；图3a为本技术中测量设备前置部件装载结构正视图；图3b为本技术中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图；图3c为本技术中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图-安装一种部件实施例示意图；图3d为本技术中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图-安装多种部件实施例示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术作进一步的详细说明。本技术目的在于提出一种可以实现极紫外(EUV)光源性能参数的快速测量系统，并以该系统在测量13.5nm±2％带宽内EUV光源性能参数为例，说明该系统的工作效果。本实施例提出的极紫外(EUV)光源带内性能参数的测量系统的结构如图1所示，其包括：EUV光源腔室1、反射镜腔室5和测量腔室7，它们之间通过真空通路联通；由于EUV光只能在真空环境中传播，所以每个腔室均需配置一套抽气泵组以及相应量程的真空计，图中未画出。所述EUV光源腔室1内设置有EUV光辐照源8，所述反射镜腔室5内设置有第一多层膜反射镜11和第二多层膜反射镜10，所述第一多层膜反射镜11为平面反射镜，用于反射入射光，所述第二多层膜反射镜10为用于聚焦的椭球面反射镜，用于反射从所述第一多层膜反射镜反射出的光；所述第一多层膜反射镜11和第二多层膜反射镜10均为镀有Mo/Si多层膜的反射镜，所述第一多层膜反射镜11以光入射角小于45度的角度设置，所述第二多层膜反射镜10以使所述第一多层膜反射镜反射出的光平行出射出去的角度设置，并将所述反射光聚焦后平行反射出去。所述小于45度的预定角度为10°左右的小角度。所述测量腔室7内设置有旋转调节装置12，所述旋转调节装置12上设置有多个探测器；通过调节旋转调节装置12，可使得入射进所述测量腔室7的光照射在不同的探测器上。所述EUV光源腔室1与反射镜腔室5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，包括：EUV光源腔室，其中设置有光辐照源，用于辐射光；反射镜腔室，其中设置有反射镜，通过与滤光片的共同作用，从所述辐射光滤出EUV光送入测量腔室；测量腔室，其中设置有旋转调节装置；其中，所述EUV光源腔室、反射镜腔室和测量腔室配置有一套抽气泵组以及相应量程的真空计；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内；所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，其为中空结构，一端固定于所述旋转圆盘，并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上；其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转；所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。

【技术特征摘要】
1.一种极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，包括：
EUV光源腔室，其中设置有光辐照源，用于辐射光；
反射镜腔室，其中设置有反射镜，通过与滤光片的共同作用，从所述辐射光滤出EUV光送入测量腔室；
测量腔室，其中设置有旋转调节装置；
其中，所述EUV光源腔室、反射镜腔室和测量腔室配置有一套抽气泵组以及相应量程的真空计；
所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；
所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内；所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；
所述旋转转盘的支撑调节结构包括：
第一调节杆，其为中空结构，一端固定于所述旋转圆盘，并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；
第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；
支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上；
其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转；所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。
2.如权利要求1所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述旋转转盘的支撑调节结构还包括：
第一调节旋钮，其与所述第一调节杆连为一体，为中空结构，且位于所述测量腔室外部；
第二调节旋钮，其与所述第二调节杆连为一体，且位于所述第一调节旋钮后方。
3.如权利要求1所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢婉露，吴晓斌，陈进新，王魁波，罗艳，张罗莎，王宇，崔惠绒，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：新型
国别省市：北京;11