具有强制传感节点的霍耳传感器制造技术

本发明专利技术实施方式涉及具有强制传感节点的霍耳传感器。在实施方式中，与常规方法相比，强制霍耳传感器能够减小剩余偏移、降低电流消耗以及改善或者完全消除非线性反偏压效应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及霍耳传感器，更具体地讲，涉及用于改善偏移减少(offsetreduction)的具有强制传感节点的自旋霍耳传感器。
技术介绍
在自旋霍耳传感器中，特别是垂直霍耳传感器，观察到自旋后的不需要的剩余偏移。这种偏移主要是由霍尔板中的非线性压敏电阻器引起的，被称作霍尔板的“结型场效应”或者“反偏压效应(backbias effect)”。参考图1，应对剩余偏移的常规方式包括霍尔板的90度平行切换(图1A)，在每个自旋相(spinning phase)中施加偏置电压或者电流且差分电压或电流读作输出(图1B)。然而，这种“强制对称”方法只是减少但是不能消除(reject)所述偏移。尽管该情况也涉及在霍尔板本身和/或局部应力效应中存在失配的横向霍尔板，但在不同的自旋相是非对称的竖直的霍尔板尤其如此。因此，有必要对霍耳传感器进行改进。
技术实现思路
实施方式涉及强制霍耳传感器。在实施方式中，方法包括将偏置信号施加到霍尔板的第一节点；强制在霍尔板的第二和第三节点的电压电平为固定值；测量分别耦接第二和第三节点的每个第一和第二反馈电路中的差分信号；并且从所述差分信号确定磁场输出信号。在实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法，包括：将偏置信号施加到霍尔板的第一节点；强制在所述霍尔板的第二和第三节点的电压电平为固定值；测量分别耦接到所述第二和第三节点的各个第一和第二反馈电路中的差分信号；和由所述差分信号确定磁场输出信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马里奥·莫茨，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：