【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体密封
，特别涉及一种用于主轴低速旋转的气体密封装置。
技术介绍
目前，在多种设备中安装有旋转主轴低速旋转的结构，同时需要有气体通过旋转 主轴中间通气孔到达顶部进行工艺试验的结构。根据不同工艺的要求，通过旋转主轴的气 体压力需要有一定的保证，同时如果通过旋转主轴的气体是有害气体，必须保证该气体不 可外漏；比如现阶段清洗机旋转主轴就需要有氮气通过主轴中间通气孔，对晶片背面进行 喷气清洁处理。但是，而现阶段类似的结构都不能够完全解决漏气问题，即使能解决漏气问 题也会造成工艺环境的极度恶化。对于磁悬浮密封会在空气中产生大量金属粒子的聚集而 恶化环境，对于一般的油液密封采取循环填充油液的方式保证油液的量，填充过程中有油 液的泄漏和飞溅等现象出现。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，以克服 现有技术中主轴在低速旋转时气体在旋转处外漏的缺陷。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包 括主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征...
【技术保护点】
一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包括：主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征在于，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充油脂，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在驱动装置的带动下使圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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