【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于热场碳碳复合材料
,具体涉及多晶硅铸锭炉热场S形加热器碳纤维预制体制备技术。
技术介绍
CN201495105U加热室是多晶硅铸锭炉的心脏,其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅的生长工艺过程必须通过加热室的调整来实现,因此,多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。传统的多晶硅铸锭炉的工作原理多晶硅铸锭炉在预热之前,炉体内预抽真空。可升降保温层与固定的底部隔热层留有搭接间隙。当硅料完全熔化开始结晶时,充入氩气,隔热框架升降装置将保温层及加热器缓 慢向上提升,坩埚底部通过保温层与隔热层之间的距离散热,吸热氩气与水冷炉壁进行热量置换后产生降温,形成温度梯度,晶体从坩埚底部逐渐向上定向生长,液相温度梯度接近常数。真空机组和充气质量流量控制器相互匹配,使炉体内压力保持恒定设定值。CN1887804A石墨材料具有纯度高、耐高温、导电导热性好、化学稳定性好等优点,最先被人们采用为晶硅炉热场装置部件材料,一般使用高纯石墨,要求三高,即高纯度、高强度、高密度,密度>1. 8g/cm3,要求的纯度极高,且不允许含有金属杂质,高温下不挥发游离的离 ...
【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉热场S形加热器碳纤维预制体的制备方法,所述预制体为铸锭炉用C/C复合加热器预制体,其特征在于,所述预制体的制备方法实施步骤如下:采用碳布铺层,设计连续长纤维在S线性趋向逐层加强,在碳布层上层铺设一层薄网胎后针刺,并根据产品要求体积密度控制针刺密度及层间密度,针刺密度为15?45针/cm2,层间密度为1?20层/10mm;设计纤维分布,逐层叠加,逐层针刺到产品设计尺寸,最终将预制件边缘加工到产品所需尺寸。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:缪云良,
申请(专利权)人:江苏天鸟高新技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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