【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石合成
,具体涉及一种HTHP合成半导体人造金刚石的方法。
技术介绍
金刚石俗称“金刚钻”,也就是人们常说的钻石,它是一种由纯碳组成的矿物,也是自然界中最坚硬的物质。自18世纪证实了金刚石是由纯碳组成的以后,人们就开始了对人造金刚石的研究,只是在20世纪50年代通过高压研究和高压实验技术的进展,才获得真正的成功和迅速的发展,人造金刚石亦被广泛应用于各种工业,工艺行业。半导体人造金刚石由于具有比普通人造金刚石耐热、自锐性强.强度高、抗冲击 性强、化学惰性更好,以及电阻率可调控等特性。制成工具除可用于加工原来一般金刚石工具可加工材料,因其耐热性更高,故可加工Fe族金属。因在加工的高温下铁族金属会将一般金刚石转化成石墨,现在业界加工铁族金属均采用立方氮化硼工具,但是立方氮化硼各种加工能力均较金刚石低一个层级,故半导体人造金刚石取代立方氮化硼加工铁族金属可以有更高的加工效率。在根据目前的发展情况,可以预期半导体人造金刚石将会逐渐替代普通人造金刚石。然而目前公知的半导体人造金刚石合成工艺技术,不但成本高、效率低,而且各种性能仍然难以满足人们的需要。 ...
【技术保护点】
一种HTHP合成半导体人造金刚石的方法,主要包括以下步骤:原料混合、冷等静压、破碎、成型、真空高温焙烧、整形、组装、HTHP方式转化、化学提纯处理,其特征在于,以单质硼、FeNiCo合金粉和高纯石墨粉为原料,且三者的重量比为单质硼:FeNiCo合金粉:高纯石墨粉=0.0001~0.6:30~70:70~30;所述单质硼的纯度>95%,FeNiCo合金粉纯度>95%,高纯石墨粉纯度>98%。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:苑执中,李军旗,
申请(专利权)人:台钻科技郑州有限公司,富泰华精密电子郑州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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