一种化学品供应系统用取样箱技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体（1），所述箱体（1）前端面设有箱门（2），所述箱门（2）为透明箱门（2），所述箱门（2）上设有拉手（3），所述箱体（1）与箱门（2）密封连接，所述箱体（1）前端面箱门（2）上方处安装有手动阀（4），所述箱体（1）侧面设有按钮（5），所述箱体（1）的顶端设有进口（6），所述箱体（1）底端开有排气口（7）；本实用新型专利技术同现有技术相比，结构简单，设计合理，构思巧妙，不仅能够准确掌握所取样的化学品的容量，而且取样后清洗起来也非常方便，提高了分析结果的准确性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种化学品供应系统用取样箱[
]本技术涉及半导体制造
，具体地说是一种化学品供应系统用取样箱。[
技术介绍
]随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。 根据目前化学品供应系统所使用的情况，将化学品经管路分配至不同的用户端之前，需要对化学品进行取样分析，以保证用户端能够摄取到符合要求的化学品，因此如何能够获得取样分析所需要的化学品，将对提高分析结果的准确性至关重要。而目前，由于无法掌握所取样的化学品的容量，以及取样装置的难以清洗，从而一定程度上造成了对化学品的浪费， 也给取样分析工作带来了很大的不便。为了解决此类问题，人们一直在寻求一种更理想的技术解决方案。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用取样箱， 结构简单，设计合理，不仅能够准确掌握所取样的化学品的容量，而且取样后清洗起来也本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）前端面设有箱门（2），所述箱门（2）为透明箱门（2），所述箱门（2）上设有拉手（3），所述箱体（1）与箱门（2）密封连接，所述箱体（1）前端面箱门（2）上方处安装有手动阀（4），所述箱体（1）侧面设有按钮（5），所述箱体（1）的顶端设有进口（6），所述箱体（1）底端开有排气口（7）。

【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体(1)，其特征在于所述箱体(I)前端面设有箱门(2 )，所述箱门(2 )为透明箱门(2 )，所述箱门(2 )上设有拉手(3 )，所述箱体(I)与箱门(2 )密封连接，所述箱体(I)前端面箱门(2 )上方处安装有手动阀(4)，所述箱体(I)侧面设有按钮(5 )，所述箱体(I)的顶端设有进口( 6 )，所述箱体(I)底端...

【专利技术属性】
技术研发人员：简建至，胡厚福，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：