一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法技术

本发明专利技术公开了一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其方法是依次经过升温、正常通源、停止通源、重复正常通源和停止通源过程三至五次和降温过程，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，达到预期的饱和效果。本发明专利技术的有益效果是有效解决尾气管堵塞的问题，同时解决了扩散尾气管堵塞后造成炉管内部压力过大，出现炸裂、气体外泄等危险，且同样达到预处理的饱和效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池片制作
，具体地说是。
技术介绍
对于新装机的扩散炉管或刚保养完的扩散炉管，都会先进行饱和工艺，再进行正常生产工艺。其目的是对石英炉管进行预处理，一是吹扫内部的杂质，二是饱和炉管。工艺过程中产生的废气，包括三氯氧磷、偏磷酸、五氧化二磷等，直接通过尾气管排出，使正常生产时不影响扩散。但是新炉管或刚保养完的炉管，尾气管没有预热，温度较低，废气会在刚出炉管进入尾气管处冷凝，尾气无法排除，造成堵塞现象。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供，解决新炉管或刚保养完的炉管在使用初始阶段尾气管堵塞的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术提供的技术解决方案为第一步进行升温过程，温度升高至950 ± 5°C，同时通入氧气和大氮，气体流量分别为800 土 IOOsccm和15 ±O. 2L，升温过程需要的时间为17±2min ;第二步温度升高至指定温度后进行正常通源，同时通入小氮和大氮，小氮的气体流量为1100 1500sccm，大氮的气体流量为5±0. 2L，通源时间为 18 24min,第三步停止通源，同时通入氧气和氮气,氧气的气体流量为800± IOOsccm,氮气的整体气体流量为6. I 7. 5L ;第四步重复第二和第三步的工艺过程三至五次，再直接持续通源，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，通源工艺时间为3 4h，达到饱和效果O本专利技术的有益效果是有效解决尾气管堵塞的问题，同时解决了扩散尾气管堵塞后造成炉管内部压力过大，出现炸裂、气体外泄等危险，且同样达到预处理的饱和效果。具体实施方式下面对本专利技术的技术方案作进一步详细说明。本实施方式中有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理工艺过程如下I.首先对扩散炉进行升温，温度升至950°C，升温时间为17min，通入的氧气的气体流量为850sccm，大氮的气体流量为15L。2. 对扩散炉管进行正常通源，同时通入小氮的气体流量为1200sCCm，大氮的气体流量为5L，通源时间为20min。3. 停止通源过程，同时通入氧气和氮气，其中氧气的气体流量为850sccm，氮气的整体气体流量为6. 2L，持续时间为50min。4.重复上述步骤2和步骤3的工艺过程三次，即完成扩散炉管的饱和处理过程。经多次实验后试用结果证明，扩散炉管的处理效果比较好，基本没有发现尾气管堵塞的效果，且同样达到预处理的饱和效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：该处理方法依次经过升温、正常通源、停止通源、重复正常通源和停止通源过程和降温过程，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，达到预期的饱和效果。

【技术特征摘要】
1.一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是该处理方法依次经过升温、正常通源、停止通源、重复正常通源和停止通源过程和降温过程，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，达到预期的饱和效果。2.根据权利要求I所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是升温过程中，温度升高至950 ± 5°C，同时通入氧气和大氮，气体流量分别为800 土 lOOsccm和15±0. 2L，升温过程需要的时间为17±2min。3.根据权利要求I所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是温度升高至指定温度后进行正常通源，同时通入小氮和大氮，小氮的气体流...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯晨，方智，王庆钱，
申请(专利权)人：浙江鸿禧光伏科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：