一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统技术方案

技术编号:8449685 阅读:180 留言:0更新日期:2013-03-21 04:27
本发明专利技术公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,包括侧隔热屏,顶部隔热屏和底部隔热屏,侧隔热屏由10-20层板材组成,通过悬挂件悬挂于炉壳上,顶部隔热屏由10-15层板材组成,直接放置于侧隔热屏上,底部隔热屏由10-15层板材组成,通过支架放置于下炉盖上。本发明专利技术提供的复合式隔热屏系统采用分体式可拆卸结构,极大地降低了蓝宝石生长系统的耗材成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及LED蓝宝石衬底片的加工制作过程中蓝宝石晶体生长炉的必需部件,尤其是一种隔热保温系统。
技术介绍
LED行业在国外已经有几十年的发展历程,在国内从2010年开始刚刚起步,而蓝宝石衬底片经过几十年的的生产实践证明,是迄今为止最为经济的一种衬底材料,为降低LED制造成本起着关键的作用。而蓝宝石晶体生长设备是必要的载体。目前国内已经大量引进了蓝宝石晶体生长设备,工艺方法包括KY法,HEM法,EFG法,TGT法等,其中KY工艺生产效率高,技术成熟,可生长大尺寸高质量晶锭,生产成本低,但是在严峻的经济形势下,LED的加工制造对于衬底片的成本要求更加苛刻,而蓝宝石衬底片的加工成本主要来自长晶环节,在长晶的过程中,晶体生长炉的耗材成本直接决定着蓝宝石衬底片的加工成本。在初期,国内的晶体生长厂家大多采购国外隔热屏和发热体,虽然这些厂家都已经将这些耗材国产化,成本有了明显的下降,但是没有从根本上降低耗材的成本。目前国内采用的热场结构三组隔热屏多为一体式结构,在达到报废期后,整套热场需要全部更换。耗材成本极闻。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,包括侧隔热屏,顶部隔热屏和底部隔热屏,其特征在于,所述侧隔热屏由10?20层板材组成,通过悬挂件悬挂于炉壳上,所述顶部隔热屏由10?15层板材组成,直接放置于侧隔热屏上,所述底部隔热屏由10?15层板材组成,通过支架放置于下炉盖上。

【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,包括侧隔热屏,顶部隔热屏和底部隔热屏,其特征在于,所述侧隔热屏由10-20层板材组成,通过悬挂件悬挂于炉壳上,所述顶部隔热屏由10-15层板材组成,直接放置于侧隔热屏上,所述底部隔热屏由10-15层板材组成,通过支架放置于下炉盖上。2.根据权利要求I所述的一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,其特征在于,所述侧隔热屏分为两部分,内层靠近发热体部分1-8层材质为钨,其余层材质为钥,所述顶部隔热屏分为两部分,最底层1-3层材质为钨,其余层材质为钥,所述底部隔热屏分为两部分,最上面1-3层材质为钨,其余层材质为钥。3.根据权利要求I所述的一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,其特征在于,所述侧隔热屏通过公母悬挂件悬...

【专利技术属性】
技术研发人员:滑喜宝
申请(专利权)人:苏州工业园区杰士通真空技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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