用于制造具有隧道电介质层的太阳能电池的方法技术

本文描述了制造具有隧道电介质层的太阳能电池的方法，以及具有隧道电介质层的太阳能电池。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例是在可再生能源领域，特别是。
技术介绍
光伏电池(一般称为太阳能电池)是公知的用于将太阳辐射直接转换成电能的设备。一般来说，太阳能电池是在半导体晶片或衬底上使用半导体加工技术在衬底表面附近形成pn结来制造的。撞击在在衬底表面上的太阳福射在衬底主体中产生电子和空穴对(其 在衬底中迁移到P型掺杂区和η型掺杂区)，从而在掺杂区之间产生电压差。掺杂区被连接到太阳能电池上的金属触点，以将电流从电池导向与其耦合的外部电路。效率是太阳能电池的重要特征，因为其与太阳能电池的发电能力直接相关。因此，能够提高太阳能电池效率的技术总是所希望的。本专利技术的实施例通过提供制造太阳能电池结构的新颖工艺提高了太阳能电池的效率。附图说明图I示出了常规工艺的模型热预算(thermal budget),用于同根据本专利技术实施例的用于在太阳能电池中制造隧道电介质层的降低的热预算工艺进行对比。图2示出了代表根据本专利技术实施例制造具有隧道电介质层的太阳能电池的方法的操作的流程图。图3A示出根据本专利技术的一个实施例在制造包括隧道电介质层的太阳能电池的一个阶段的剖视图。图3B示出根据本专利技术的一个实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒂姆·丹尼斯，斯科特·哈林顿，简·曼宁，大卫·史密斯，安·瓦尔德豪尔，
申请(专利权)人：太阳能公司，
类型：
国别省市：