用于真空设备开门过程的充气方法和充气过程的控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于真空设备开门过程的充气方法及充气过程的控制装置。所述充气方法包括以下步骤：(1)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真空设备。本发明专利技术用于真空设备开门过程的充气方法及充气过程的控制装置，在打开炉门之前已经关闭进气阀，可以避免不必要的氮气浪费。由于泄压阀只在真空设备内的压力过大时才动作，可以使泄压阀少动作甚至不动作，降低泄压阀动作频率，可以延长泄压阀的寿命，消除泄压阀密封性能降低的隐患，降低设备运营及维护成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创新涉及电池片制造领域，主要是涉及一种用于真空设备开门过程的充气方法和用于真空设备充气过程的控制装置，所述真空设备可以为镀膜工序中的石英炉管等需要在真空环境条件下工作的设备。
技术介绍
镀膜设备的石英炉管内平时是真空状态。在镀膜工艺结束，需要开启炉门时，系统会自动向炉管内部充入氮气，当炉管内的气压达到一个大气压才允许打开炉门。如图I所示，现有技术中，用于控制真空设备充气过程的装置包括一个用于控制的PLC和用于检测所述真空设备内压力的压力传感器，所述PLC接收来自压力传感器的信号，向炉门、进气阀和泄气阀分别发出打开或者关闭的信号。为了便于使用PLC进行精确控制，所述进气阀和泄气阀均为电磁阀，或者为由电磁阀控制的其他气动阀，本领域的技术人员应该理解，在本·专利技术中，所述PLC与所述进气阀和泄气阀连接的意思为，所述PLC的控制信号用于控制所述进气阀和泄气阀的打开或关闭，从而实现与真空设备的进气或者泄气管路的接通或断开。现有的充气过程是这样的镀膜工艺结束，开始向炉管内部充入氮气，当达到一个大气压时，泄压阀动作，与大气连通，使炉管内部的压力保持在一个大气压，系统还会继续向炉管内充本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于真空设备开门过程的充气方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真空设备。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚小明，武超，
申请(专利权)人：洛阳尚德太阳能电力有限公司，无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：