用于真空设备开门过程的充气方法和充气过程的控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于真空设备开门过程的充气方法及充气过程的控制装置。所述充气方法包括以下步骤：(1)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真空设备。本发明专利技术用于真空设备开门过程的充气方法及充气过程的控制装置，在打开炉门之前已经关闭进气阀，可以避免不必要的氮气浪费。由于泄压阀只在真空设备内的压力过大时才动作，可以使泄压阀少动作甚至不动作，降低泄压阀动作频率，可以延长泄压阀的寿命，消除泄压阀密封性能降低的隐患，降低设备运营及维护成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创新涉及电池片制造领域，主要是涉及一种用于真空设备开门过程的充气方法和用于真空设备充气过程的控制装置，所述真空设备可以为镀膜工序中的石英炉管等需要在真空环境条件下工作的设备。
技术介绍
镀膜设备的石英炉管内平时是真空状态。在镀膜工艺结束，需要开启炉门时，系统会自动向炉管内部充入氮气，当炉管内的气压达到一个大气压才允许打开炉门。如图I所示，现有技术中，用于控制真空设备充气过程的装置包括一个用于控制的PLC和用于检测所述真空设备内压力的压力传感器，所述PLC接收来自压力传感器的信号，向炉门、进气阀和泄气阀分别发出打开或者关闭的信号。为了便于使用PLC进行精确控制，所述进气阀和泄气阀均为电磁阀，或者为由电磁阀控制的其他气动阀，本领域的技术人员应该理解，在本·专利技术中，所述PLC与所述进气阀和泄气阀连接的意思为，所述PLC的控制信号用于控制所述进气阀和泄气阀的打开或关闭，从而实现与真空设备的进气或者泄气管路的接通或断开。现有的充气过程是这样的镀膜工艺结束，开始向炉管内部充入氮气，当达到一个大气压时，泄压阀动作，与大气连通，使炉管内部的压力保持在一个大气压，系统还会继续向炉管内充入氮气，直到炉门打开。这样在炉管内气压达到一个大气压直到开炉门时，会造成一部分氮气通过泄压阀排向大气，造成浪费。并且，由于泄压阀在每一次开炉门时都要动作，频繁的动作会使泄压阀的密封效果减弱，造成漏气，使炉管内真空度达不到设定值，导致停机检修。专利技术人发现现有技术存在重大的缺陷，每次打开炉门时，泄压阀都要动作，使泄压阀的密封效果减弱，造成漏气，此外还会造成一部分氮气浪费。泄压阀的密封效果减弱后，影响炉管内的真空度，严重的会造成停产，而且由于泄压阀发生泄漏后不容易被检测到，严重影响生产。
技术实现思路
针对现有技术的上述缺陷，本专利技术要解决的技术问题是，减少氮气浪费，并减少泄压阀的动作，延长其使用寿命。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案用于真空设备开门过程的充气方法，包括以下步骤(I)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真空设备。作为优选，在所述的步骤⑴中，由PLC向与其连接的所述进气阀发出使进气阀打开向所述真空设备内充气的信号；在所述的步骤(2)中，当所述真空设备内的压力达到所述第一预定值时，用于检测所述真空设备内压力的压力传感器使与其连接的电磁继电器得电，打开连接在所述PLC与所述进气阀之间的所述电磁继电器的常闭开关，并闭合连接在所述PLC与电源之间的所述电磁继电器的常开开关；在所述的步骤(3)中，所述PLC与所述电源连通后，向用于控制所述真空设备的炉门打开或关闭的炉门开关发出打开的信号。作为优选，还包括以下步骤(4)当所述真空设备内的压力达到或者超过比所述第一预定值大的第二预定值时，打开与所述真空设备连接的泄压阀。作为优选，所述第一预定值为一个大气压。作为优选，所述步骤⑴中所充入的气体为氮气。本专利技术还提供了一种用于真空设备充气过程的控制装置，包括PLC、用于检测所述真空设备内的压力的压力传感器和与所述压力传感器连接用于接收所述压力传感器在所述真空设备内的压力达到第一预定值时发出的第一信号的电磁继电器；所述PLC通过所述电磁继电器的常闭开关与所述真空设备的进气阀连接，所述PLC通过所述电磁继电器的常开开关与电源连接，所述PLC还与用于控制所述真空设备的炉门开启打开或关闭的炉门开关连接。作为优选，所述压力传感器还和与所述真空设备相通的泄压阀连接以接收所述压力传感器在所述真空设备内的压力的达到或超过比所述第一预定值大的第二预定值时发出的第二信号。作为优选，所述压力传感器还与所述PLC连接以接收通过所述PLC设置的所述第 一预定值和第二预定值。与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于，本专利技术的真空设备充气的方法，在打开炉门之前已经关闭进气阀，可以避免不必要的氮气浪费。由于泄压阀只在真空设备内的压力过大时才动作，可以使泄压阀少动作甚至不动作，降低泄压阀动作频率，可以延长泄压阀的寿命，消除泄压阀密封性能降低的隐患，降低设备运营及维护成本。附图说明图I为现有技术的真空设备充气过程的控制装置的结构框图；图2为本专利技术的一个实施例的炉管的进气与泄气管道的结构框图；图3为本专利技术的一个实施例的用于真空设备开门过程的充气方法的流程图；图4为本专利技术的一个实施例的真空设备充气过程的控制装置的组成框图；图5为本专利技术的另一个实施例的真空设备充气过程的控制装置的用于泄压过程时的组成框图。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细描述，但不作为对本专利技术的限定。以下以用于太阳电池生产过程中的镀膜设备的石英炉管作为真空设备即本实施中的炉管I的例子进行说明，本领域的技术人员应该理解，本专利技术所说的“真空设备”包括但不限于本实施中的炉管1，只要是打开时需要充入气体的真空设备均可使用本专利技术的用于真空设备开门过程的充气方法以及真空设备充气过程的控制装置。需要说明的是，在本专利技术及其实施例中，所述PLC与所述进气阀和泄气阀连接应理解为所述PLC的控制信号用于控制所述进气阀和泄气阀的打开或关闭，从而实现与真空设备即本实施中的炉管I的进气管路或者泄气管路的接通或断开，S卩如果连接在进气管路或者泄气管路中的为电磁阀，则所述PLC直接控制其开闭，如果连接在进气管路或者泄气管路中的为其他形式的阀门，则每个阀门分别由一个电磁阀进行控制，所述PLC通过电磁阀间接地控制进气管路或者泄气管路的接通或断开。同样，所述压力传感器和泄压阀之间连接也做同样的理解，即压力传感器可以向泄压阀发送打开或者关闭的信号，也可以向用于控制泄压阀打开或关闭的电磁阀发送信号。图2示出了本专利技术的用于真空设备开门过程的充气方法的实施例的炉管的进气与泄气管道的结构。如图2所示，炉管1(即真空设备)上设有炉门10，炉门10可以打开或关闭，由炉门开关(图中未示出)控制。炉管I的一侧通过进气阀2与氮气罐3连接以向炉管I充入氮气，炉管I的另一侧通过管道与真空泵6连接以把炉管I内抽出真空，在炉 管I与真空泵6之间还设有防止气体通过泄气管道流入的单向阀7。炉管I还通过泄气阀5与大气连通，以便在炉管I内的压力超过预定值时通过泄气阀5向外泄气以降低炉管I内的压力。此外，为了检测炉管I内的压力，还设有与炉管I连通的压力传感器4。当炉管I内充满至少一个大气压的氮气后，此时即使打开炉门10，空气也不能进入炉管1，可以打开炉门10，可以进行作业，即把镀膜完毕的硅片从炉管I取出或者把待镀膜的硅片放入炉管I内，作业完毕，关闭炉门10，通过真空泵6把炉管I抽成真空，可以进行镀膜作业。以下结合图2、图3说明本专利技术的实施例的用于真空设备即本专利技术的一个实施中的炉管I开门过程的充气方法，包括以下步骤(I)打开与真空设备即本实施中的炉管I连接的进气阀向真空设备即本实施中的炉管I内充气，在本实施例中，充入的为氮气。(2)当真空设备即本实施中的炉管I内的压力达到第一预定值时，关闭进气阀，停止供气，所述第一预定值即为真空设备即本实施中的炉管I可以打开时的压力值，在本实施例中所述第一预定值为一个大气压，还可以根据需要选择略大于一个大气压的值，如I.05本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于真空设备开门过程的充气方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真空设备。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚小明，武超，
申请(专利权)人：洛阳尚德太阳能电力有限公司，无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：