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本发明公开了一种用于真空设备开门过程的充气方法及充气过程的控制装置。所述充气方法包括以下步骤：(1)打开与所述真空设备连接的进气阀向所述真空设备内充气；(2)当所述真空设备内的压力达到第一预定值时，关闭所述进气阀，停止供气；(3)打开所述真...该专利属于洛阳尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。