正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。正型感光性树脂组成物的特征在于含有：(成分A)至少包含(a1)具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分B)不含具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元、且至少包含(b1)具有酸基的结构单元及(b2)具有交联性基的结构单元的共聚物，(成分C)光酸产生剂，以及(成分D)溶剂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置及有机电致发光(Electroluminescence,EL)显示装置。更详细来说，本专利技术涉及一种适于形成液晶显示装置、有机EL显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组成物及使用该正型感光性树脂组成物的硬化膜的形成方法。
技术介绍
在薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下记作“TFT”)型液晶显示元件或磁头元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子零件中，通常为了将以层状而配置的配线之间绝缘而设置着层间绝缘膜。作为形成层间绝缘膜的材料，优选的是用来获得必要图案形状的步骤数少而且具有充分平坦性的材料，因此广泛使用感光性树脂组成物(参照专利文献I及专利文献2)。上述电子零件中，例如TFT型液晶显示元件是经过以下步骤来制造在上述层间绝缘膜上形成透明电极膜(氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO)),进一步在其上方形成包含钥(Mo)或钛(Ti)等金属的配线，形成液晶配向膜，因此层间绝缘膜在透明电极膜的形成步骤中曝露在高温条件下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正型感光性树脂组成物，其特征在于，含有：(成分A)至少包含具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元(a1)及具有交联性基的结构单元(a2)的共聚物；(成分B)不含具有以酸分解性基保护酸基而成的残基的结构单元，且至少包含具有酸基的结构单元(b1)及具有交联性基的结构单元(b2)的共聚物；(成分C)光酸产生剂；以及(成分D)溶剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：霜山达也，山﨑健太，川岛敬史，疋田政宪，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：