【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及本专利技术涉及液晶面板制造领域,尤其是涉及。
技术介绍
在液晶面板制造行业中,玻璃基板分层存储于卡匣(Cassette, CST)之中,而CST存储于各个仓储柜(Stocker)中,全部仓储柜加上相应的搬运装置(如堆垛机)以及控制装置共同构成了一个自动化物料搬运系统(Au tomated Material Handling System, AMHS),每个仓储柜中的CST由堆垛机(Crane)搬送到各制程机台(EQ)以完成相应工序。如图I所示,示出了一个现有的自动化仓储柜搬送系统,其中示出了两排仓储柜1,在每个仓储柜I中至少存放有一个卡匣2,所述卡匣2通过堆垛机搬运至装载加工口 41 (Load Port)中,每个装载加工口 41均对应有搬运装置5 (conveyer, CV),该搬运装置5与制程机台(EQ)相连,在装载加工口 41旁边设有卸载加工口 40 (Unload Port)。如图2所示,示出了在现有的自动化仓储柜搬送系统搬运卡匣的示意图。首先,仓储柜中堆垛机(Crane)分别将装有玻璃基板的第一卡匣CST1、第二 CST2搬运至装载加工口 ...
【技术保护点】
一种搬运卡匣的装置,用于在仓储柜的堆垛机、装载加工口和卸载加工口之间搬运卡匣,其特征在于,包括:设置于所述装载加工口和卸载加工口前段的搬运口区,所述搬运口区包括至少两排搬运口,其中,每一排搬运口中搬运口的数量与所述装载加工口和卸载加工口的总数相对应;水平搬运机构,设置于每排搬运口上,用于将卡匣在当前排的各搬运口之间水平搬运;垂直搬运机构,设置于相邻排搬运口上,用于将卡匣在相邻排的搬运口之间垂直搬运;控制装置,用于控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口,或将装载加工口处的空卡匣搬运至预定的卸载加工口,或将卸载加工口处的存 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈增宏,吴俊豪,林昆贤,齐明虎,郭振华,杨卫兵,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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